[发明专利]一种研磨设备可更换连接结构在审
申请号: | 201510352069.5 | 申请日: | 2015-06-24 |
公开(公告)号: | CN105033843A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 肖共和;陈愿勤 | 申请(专利权)人: | 中山市泰威技术开发有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人: | 邹常友 |
地址: | 528400 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 设备 更换 连接 结构 | ||
技术领域
本发明涉及一种研磨设备,特别是一种研磨设备可更换连接结构。
背景技术
晶振片主要应用在膜厚控制仪器领域,薄薄圆圆的晶振片来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经过反复的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的石英片,每个石英片经切边,抛光和清洗,最后镀上金属电极,适用于各种应力膜料的镀膜控制。
一片合格的石英片,在加工过程中的研磨是保证其精度的关键,通常的石英片的研磨结构中包括上研磨盘及下研磨盘,其研磨方式为:将石英片放置于上、下研磨盘中进行球面研磨,过程中下研磨盘旋转,上研磨盘在沿下研磨盘轴心点到预定的某一点间的直线轨迹上做往复移动,且同时在该过程中随下研磨盘旋转而转动,从而将其中的石英片研磨成预定尺寸。而该往复运动在研磨过程中是一个重要的分支运动,在该运动过程中能够使石英片在下研磨盘的整个研磨表面均匀研磨,不会在上、下研磨盘间造成非均匀、非对称的磨损。
而上研磨盘的往复运动是由驱动单元通过支架传动结构带动上研磨盘来完成的,而支架传动结构主要包括连杆、主支架及受驱动单元驱动旋转的偏心盘,偏心盘上具有滑槽,主支架上焊有固定套筒,固定套筒两端均设有滑孔,滑孔内均设有与其滑动配合的滑轴,滑轴的端部具有轴孔,一端轴孔内设有连杆,另一端轴孔通过铜杆与上研磨盘连接,连杆的一端具有滑块,该滑块卡于滑槽内且可沿滑槽滑动。当偏心盘转动时,通过连杆拉动滑轴在滑孔内做活塞式运动,而滑轴牵引固定套筒带动铜杆与上研磨盘联动,从而形成上研磨盘在下研磨盘上的往复运动。
在上述运动过程中,滑轴与滑孔内部直接摩擦,因而在工作一段时间后固定套筒磨损严重,导致上述运动变形,从而引起上、下研磨盘间非均匀、非对称的磨损,导致石英片研磨不合格,成品合格率降低,因而每隔一段时间就需要更换磨损严重的固定套筒。但是,固定套筒加工较复杂、成本较高,而且固定套筒是焊接于支架上,每次更换需将旧的固定套筒从支架上切割下来,将新的焊上去,不仅更换费时,而且难度大,因而有必要针对上述结构改进。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供一种研磨设备可更换连接结构,可提高石英片合格率,并且便于活动套筒的更换。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种研磨设备可更换连接结构,其特征在于:包括主支架,主支架上焊有固定套筒,固定套筒一端设有安装孔,安装孔内设有与其固定配合的连接轴,所述固定套筒的另一端设有可拆卸的活动套筒,活动套筒内设有滑孔,滑孔内设有与其滑动配合的滑轴。
所述固定套筒的另一端设有螺孔,所述活动套筒的一端设有与该螺孔配合的螺纹。
所述活动套筒上具有台阶面,该台阶面与固定套筒的端面间设有均与上述两个面顶压的弹垫圈。
所述活动套筒上铣有供夹具夹持的平面。
本发明的有益效果是:本发明通过在固定套筒一端增加一更换方便的活动套筒,将滑孔设置于活动套筒内的方式,使滑轴避免直接与固定套筒摩擦,而当活动套筒磨损后,能够直接将其方便地从固定套筒拆下,而且活动套筒结构比固定套筒简单,因而其成本也低,工人可以在磨损的早期就对其进行更换,从而有力保证了石英片的研磨精度及成品合格率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的俯视图。
具体实施方式
参照图1,本发明公开了一种研磨设备可更换连接结构,包括主支架1,主支架1上焊有圆柱形的固定套筒2,固定套筒2一端设有安装孔(图中未示出),安装孔内设有与其固定配合的连接轴3,所述固定套筒2的另一端固定有可拆卸的活动套筒4,具体的可拆卸的连接方式在于:固定套筒2的另一端设有螺孔(图中未示出),所述活动套筒4的一端设有与该螺孔配合的螺纹,因而通过螺纹连接而将活动套筒4旋入或旋出就能方便地将活动套筒4装上或拆下进行更换。
活动套筒4内设有滑孔(图中未示出),滑孔内设有与其滑动配合的滑轴5,滑轴5的端部具有轴孔8,轴孔8内套有可于轴孔8内转动的连杆(图中未示出),因滑轴5与滑孔内部直接摩擦,因而在工作一段时间后活动套筒4磨损严重,但是只要将活动套筒4从固定套筒2拆下就可方便安装一个新的更换,简单省时。
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