[发明专利]一种铍窗封接的方法

权利要求书

1. 一种铍窗封接的方法，其特征在于，由如下步骤组成：

1）将铍片浸泡在质量比为9-11:1的硫酸和过氧化氢混合液中，混合液温度控制在50-55℃；反应时间在13-17s；

2）浸泡好的铍片用去离子水冲洗8-12min，然后在75-85℃的烘箱烘干并存储于真空柜中备用；

3）选用铜作为输出窗的基金属，封接时的升温速率为3℃/min，保温温度730℃，时间60min，再升温至温度800℃,保温时间8min，在此温度下，铍片、铜和焊料的相互溶蚀，在封接面形成铍片、铜、焊料的金属化合物，从而形成了牢固气密的钎焊面。

2.根据权利要求1所述的铍窗封接的方法，其特征在于，步骤1）中硫酸和过氧化氢的质量比为10:1。

3.根据权利要求1所述的铍窗封接的方法，其特征在于，步骤2）中浸泡好的铍片用去离子水冲洗10min，然后在80℃的烘箱烘干并存储于真空柜中。

4.根据权利要求1所述的铍窗封接的方法，其特征在于，步骤3）中焊料选用银铜28银基焊料。