[发明专利]一种激光干涉仪调整座

权利要求书

1.一种激光干涉仪调整座，用于固定所述激光干涉仪的探头并调节该探头的位置，其特征在于，所述调整座包括导向底板、下层弧形构件、上层弧形构件及紧压件；其中，

所述导向底板上自下而上依次叠置所述下层弧形构件和所述上层弧形构件；

所述导向底板为平板结构，所述下层弧形构件的底面为平面，所述下层弧形构件的上表面为下凹的圆柱面，所述上层弧形构件的下表面为下凸的圆柱面，且所述上层弧形构件的下表面与所述下层弧形构件的上表面相配合；

所述紧压件包括压板及拉簧，用于将所述下层弧形构件和所述上层弧形构件向所述导向底板压紧，所述压板位于上层弧形构件的上方，所述拉簧的两端分别连接所述压板及所述导向底板。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，还包括第一调节机构，其用于对所述下层弧形构件施加水平面方向的力，以使所述下层弧形构件在所述导向底板上做平移运动。

3.根据权利要求2所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，所述第一调节机构包括第一柱塞弹簧和第一调节螺钉，所述第一柱塞弹簧及所述第一调节螺钉分别位于所述下层弧形构件的两个相对侧面，分别用于对下层弧形构件施加水平面上的两个彼此相反的方向上的力。

4.根据权利要求1所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，还包括第二调节机构，其用于对所述上层弧形构件施加水平面方向的力，以使所述上层弧形构件相对于所述下层弧形构件做俯仰运动。

5.根据权利要求4所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，所述第二调节机构包括第二柱塞弹簧和第二调节螺钉，所述第二柱塞弹簧和所述第二调节螺钉分别位于所述上层弧形构件的两个相对侧面，分别用于对上层弧形构件施加水平面上的两个彼此相反的方向上的力。

6.根据权利要求5所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，所述下层弧形构件有一个块状突起，该块状突起从下层弧形构件的一个侧面向上方突起，从而位于所述上层弧形构件的外侧并与所述上层弧形构件处于同一水平面，并且，该块状突起中设有一个沿水平方向的螺钉孔。

7.根据权利要求1-6任意一项中所述的激光干涉仪调整座，其特征在于，还包括导向框架，所述导向框架为中空的环形框架，环绕所述下层弧形结构和上层弧形结构并与导向底板固定。