[发明专利]真空镀膜基片清洗方法在审
| 申请号： | 201510355273.2 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106319443A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 马远周 | 申请（专利权）人： | 马远周 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 617000 四川省攀枝*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于马远周，未经马远周许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510355273.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铬铜合金防锈涂料的制造方法
- 下一篇：一种蒸镀设备以及蒸镀方法
- 同类专利
- 专利分类
