[发明专利]基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法

权利要求书

1.一种基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

按照从上到下或从下到上逐层制备电容式厚膜压力传感器，所述的电容式厚膜压力传感器从下到上依次包括下基板层、下电极层、支撑环层、上电极层、感知膜片层、焊盘层，支撑环层和感知膜片层分别有引出电极穿过，各层的制作步骤如下：

（1）真空环境中，在工作台上加载当前层原材料粉末并预热；

（2）根据当前层的精度要求确定原始激光，采用原始激光对原材料进行扫描烧结熔化及固化；原始激光的选择原则是：对精度要求高的当前层选用脉冲较短的激光，对精度要求低的当前层则选用脉冲较长的激光；基于上述选择原则并结合经验、试验验证在纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光中确定制作当前层所采用的原始激光；

（3）实时检测和分析已成型当前层的尺寸、晶相结构、表面形貌和成分中的一项或多项，并将分析结果反馈至控制中心；

（4）将控制中心接收的分析结果与预设目标比对，若分析结果达到预设目标，则结束并开始制作下一层；否则，执行步骤（5）；

（5）使用精加工激光对已成型当前层的特定区域进行精加工，然后执行步骤（3）；所述的特定区域指分析结果未达到预设目标的区域，所述的精加工激光选择原则为：（a）为皮秒激光或飞秒激光；同时，（b）其加工精度高于原始激光。

2.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

所述的原始激光和精加工激光均由多波长集成光纤激光器提供，所述的多波长集成光纤激光器包括控制器、纳秒激光探头、皮秒激光探头和飞秒激光探头，纳秒激光探头、皮秒激光探头和飞秒激光探头均与控制器相连，控制器用来控制纳秒激光、皮秒激光和飞秒激光的发射和关闭。

3.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

步骤（3）中采用实时监测系统进行实时检测和分析，所述的实时监测系统包括控制驱动系统和检测仪器，检测仪器与控制驱动系统相连，所述的检测仪器包括尺寸检测仪器、晶相结构检测仪器、表面形貌检测仪器、成分检测仪器中的一种或多种。

4.如权利要求3所述的基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

所述的检测仪器包括扫描电镜、X射线衍射仪、红外摄像仪和质谱仪中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

上电极层和下电极层的原材料为钯银合金。

6.如权利要求1所述的基于飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，其特征在于：

下基板层、支撑环层、感知膜片层、焊盘层，支撑环层和感知膜片层的原材料均为陶瓷材料。