[发明专利]一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备及利用其制备零件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及快速成型领域，具体涉及一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备及利用其制备零件的方法。

背景技术

快速成型技术是近年来新开发的一种用材料逐层或逐点堆积出器件的制造方法，主要是通过综合机械工程、CAD、数控技术、激光技术和材料等科学技术，把三维零件转化为由一系列二维零件截面制造的叠加。对于金属材料，目前普遍采用的是采用激光在气体保护下进行金属粉末的烧结或熔化，但在烧结某些特种金属（如钨、钛）及高温合金特种性能金属材料关键件时普通的激光快速成型便会显现出强度不高、吹粉、球化、残余应力高及表面粗糙高等缺点。目前在快速成型制造过程中仅有利用视觉监控外形尺寸，没有原位监控微观结构的设备，我们无从知道零部件的微观结构，也就不能对其机械性能进行更好地控制。

电子束快速成型技术是近几年发展起来的一种快速制造技术。电子束快速成型制造出的零件材料纯度高（在真空中进行制造处理），也许可以使零件达到没有晶界或者只有单晶的情况，可以保证材料成型的灵活性和高能效以及优越的高温蠕变性能。通过电子束进行快速成型制造的材料，微观组织结构均匀完整，显著减小了材料的晶粒尺寸，可以很大程度上减少或避免强度不高、吹粉、球化、残余应力高及表面粗糙高等缺点。电子束的聚焦直径可达到0. 1μm以内，适于对零件的高精度加工。

离子束与电子束产生原理类似，不同的是离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，如氩离子的质量是电子的7.2万倍，即使最轻的氢原子质量也是电子质量的1840倍，因而离子束比电子束具有更大的撞击动能，这是因为它是靠微观的机械撞击能量，而不是靠动能转化为热能来加工的，不会引起机械力和损伤，可以加工出更高精度和质量的结构。此外，离子束的聚焦直径可以达到10nm以下，其精细加工能力明显优于电子束，但其成本较高。

发明内容

本发明针对目前快速成型制造方法中存在的强度不高、吹粉、球化、残余应力高及表面粗糙高等缺陷，结合电子束和离子束技术以及原位测量技术，提供了一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备及利用其制备零件的方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备，包括真空室100和控制与显示系统130，所述真空室100中设有可三维移动的工作台101、进料和铺料装置108、快速成型装置120和实时监控装置110；所述可三维移动的工作台101中设有冷却液流通管道109；所述快速成型装置120为电子束设备107；所述真空室100、可三维移动的工作台101、进料和铺料装置108、快速成型装置120和实时监控装置110均与真空室100外的控制与显示系统130相连。

所述快速成型装置120还包括与电子束设备107集成的离子束设备106，电子束设备107与离子束设备106可同时运动。

所述电子束装置的工作模式为连续式、脉冲式或高频扫描式。

所述实时监控系统110包括扫描电镜系统113、X射线衍射仪114、红外摄像仪115、质谱仪116中的一种或几种。

所述实时监控系统110包括扫描电镜系统113、X射线衍射仪114、红外摄像仪115和质谱仪116。

所述扫描电镜系统113、X射线衍射仪114、红外摄像仪115和质谱仪116集成在一起。

所述扫描电镜系统包括二次电子探头、能谱仪和背散射探头。

所述冷却液为水或液氮。

一种利用上述设备制备零件的方法，包括如下步骤：

（1）利用进料和铺料装置向工作平台上传送并铺设原材料，预热；

（2）开启电子束装置，对经步骤（1）预热后的原料进行选择性扫描烧结，开启实时监控系统对产品的表面形貌、化学成分和相结构进行监控，并将测定结果反馈给控制与显示系统，调整快速成型制造工艺参数；

（3）将工作平台向下移动，然后依次反复重复步骤（1）和 （2）直到完成零件的快速成型制造。

上述方法的步骤（2）中还包括以下步骤：使用离子束对已成型的没有达到零件加工精度要求的区域进行精细加工并选择性地冷却零件。

所述零件为模具、传感器、金属零件或陶瓷零件。所述零件为金属零件、聚合物零件、陶瓷零件或复合材料零件。

所述的原材料为金属材料、聚合物、陶瓷或复合材料。

所述金属材料为金属线条或金属粉末，所述陶瓷为陶瓷浆料，所述聚合物为聚合物凝胶。