[发明专利]一种蓝宝石抛光用吸附垫及其制备方法

权利要求书

1.一种蓝宝石抛光用吸附垫，所述吸附垫从其厚度方向的一端至另一端依次包括阻尼布层(1)、热熔胶层(2)和环氧树脂板层(3)；所述阻尼布层厚度为0.2～0.4mm，热熔胶层厚度为0.05～0.15mm，环氧树脂板层厚度为0.15～2.0mm；且所述热熔胶层和环氧树脂板层上均开设有与待抛光的蓝宝石基片尺寸匹配的多个通孔；所述热熔胶层(2)先热压贴合至环氧树脂板层(3)上形成粘胶板，再对该粘胶板冲压开设多个所述通孔，然后将所述阻尼布层(1)热压贴合至开设了通孔的粘胶板的热熔胶层(2)上而得到所述蓝宝石抛光用吸附垫。

2.根据权利要求1所述的吸附垫，其特征在于，所述阻尼布为具有均一微孔结构的聚氨酯发泡材料，其微孔孔径为30～50μm；所述热熔胶能耐碱性环境且其熔化温度为100-130℃。

3.根据权利要求1所述的吸附垫，其特征在于，所述吸附垫整体呈圆饼形，且所述通孔均匀设置在吸附垫的周向上。

4.根据权利要求1所述的吸附垫，其特征在于，所述环氧树脂板单面磨砂，该磨砂面用于与热熔胶层热压贴合。

5.根据权利要求1所述的吸附垫，其特征在于，在预贴合形成粘胶板前，所述热熔胶层和环氧树脂板层均为含中心孔的圆片结构，且二者直径均为30～45cm。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的吸附垫，其特征在于，所述阻尼布层(1)在厚度方向上包括用于与热熔胶层(2)热压贴合的黑色端(11)和用于与抛光设备粘贴的双面胶端(12)。

7.一种蓝宝石基片的抛光方法，包括使用如权利要求1～6中任意一项所述吸附垫将蓝宝石基片吸附固定在抛光设备上对其抛光。

8.一种如权利要求1～6中任意一项所述吸附垫的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤A，预贴合：使用滚筒式热压机将所述热熔胶贴合到环氧树脂板上；所述滚筒式热压机中包括均可独立加热的三个工段；

步骤B，冲压开孔，对贴合热熔胶后的环氧树脂板冲压开设通孔；

步骤C，热压贴合并冷却，使用平盘式热压机中的加热盘先热压贴合步骤B所得的环氧树脂板和阻尼布，再使用平盘式热压机中的冷却盘将其冷却；

步骤D，裁剪：裁剪掉边缘多余的阻尼布得到所述吸附垫。

9.根据权利要求8所述方法，其特征在于，步骤A中的三个工段为第一段加热、第二段和第三段冷却，且加热轴温度为110～120℃，两段冷却轴的温度均为20～30℃。

10.根据权利要求8所述方法，其特征在于，步骤C中加热盘上盘温度设定为20～30℃，下盘温度为125～135℃，热压压力为0.30～0.50Mpa，撕去热熔胶表面保护的离型纸后所述环氧树脂板的预热时间为30～90秒，其与阻尼布层的压合时间为20～40秒。

11.根据权利要求8所述方法，其特征在于，步骤C中冷却盘的上盘和下盘的温度均为20～30℃，在冷却盘上的压合时间为20～40秒。