[发明专利]重复率根据扫描速度可调的高功率飞秒激光器

权利要求书

1.一种用激光系统进行扫描的方法，该方法包括以下步骤：

由振荡器生成飞秒种子脉冲；

由展宽器展宽种子脉冲的持续时间；

由放大器将所展宽的种子脉冲放大成激光脉冲；

用放大器的端镜之间的色散补偿器补偿在5000-20000fs²的范围内的激光脉冲的群延迟色散；

由可切换偏振器以第一重复率从放大器输出激光脉冲；

由压缩器将激光脉冲的持续时间压缩到1-1000fs的范围；

用扫描激光传递系统将激光脉冲聚焦至第一靶区域中的焦斑；

用扫描激光传递系统在第一靶区域中以第一重复率扫描焦斑；

用重复率控制器将第一重复率改变为第二重复率；以及

用扫描激光传递系统在第二靶区域中以第二重复率扫描焦斑。

2.如权利要求1所述的方法，包括：

以第一扫描速度在所述第一靶区域中扫描焦斑；

由扫描激光传递系统的处理器将第一扫描速度改变为第二扫描速度；以及

以第二扫描速度在所述第二靶区域中扫描焦斑。

3.如权利要求1所述的方法，其中：

所述第一重复率和所述第二重复率落入10kHz-2MHz、50kHz-1MHz或100kHz-500kHz的范围之一内。

4.如权利要求3所述的方法，其中：

所述第一重复率为100kHz；以及

所述第二重复率为150kHZ。

5.如权利要求1所述的方法，其中：

所述压缩器和展宽器被集成到展宽器-压缩器中。

6.如权利要求1所述的方法，其中：

所述可切换偏振器包括电光器件，其被配置为旋转放大器中的展宽的脉冲的偏振面，

所述可切换偏振器具有小于5ns的上升时间。

7.如权利要求6所述的方法，所述扫描激光传递系统包括：

控制电子器件，其被配置为向可切换偏振器施加控制信号以使得可切换偏振器以小于5ns的上升时间进行切换。

8.如权利要求1所述的方法，将第一重复率改变为第二重复率包括：

改变在由电光调制器从放大器输出激光脉冲之前的激光脉冲的往返次数。

9.如权利要求1所述的方法，将第一重复率改变为第二重复率包括：

在1μ秒-1秒的范围的时间中将第一重复率改变为第二重复率。