[发明专利]一种氟化石墨烯的制备方法在审
| 申请号： | 201510361699.9 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104986750A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;陆薇;阿亚兹;孟楠;万霞;程呈;郭宏伟;周翰铭;王雪;施添锦;王锋;马玲玲;刘雪梅;李炜;刘威 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B31/00 | 分类号： | C01B31/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 石墨 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种氟化石墨烯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1）将石墨烯样品放入深反应刻蚀机的送样室内，将送样室气压抽至10-3Torr以下，将石墨烯样品送入反应腔；
2）将反应腔内气压抽至10-6Torr以下，通入SF6气体，流量为100sccm；
3） 对SF6进行等离子体激发，在电离功率为25W~300W条件下反应30s~20min；取出样品，获得氟化石墨烯。
2. 根据权利要求1所述的氟化石墨烯的制备方法，其特征在于，所述的石墨烯为单层或多层。
3. 根据权利要求1所述的氟化石墨烯的制备方法，其特征在于，所述的石墨烯样品，其衬底为不与SFx反应的材料，x=1-6。
4. 根据权利要求3所述的氟化石墨烯的制备方法，其特征在于，所述的石墨烯样品，其衬底为铜箔、铜网、Si或SiO2。
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