[发明专利]一种探针卡有效
申请号: | 201510367325.8 | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN104991097B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 郑鹏飞;李强 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 探针卡 探针尖端 芯片焊垫 接触点 测试线路 开关件 测试 测试设备 测试效率 传统探针 电源通道 第二面 信号线 总功耗 并联 一对一 功耗 芯片 | ||
1.一种探针卡,其特征在于:其包括第一面以及第二面,所述第一面设有数个用于连至测试设备的接触点,所述第二面设有数个用于连至待测芯片焊垫的探针尖端,所述第二面还设有数个通过信号线分别与所述数个探针尖端相连的接触点,所述第一面的接触点通过探针卡的内部信号线分别连至第二面的接触点,以使得第一面的接触点分别与第二面的探针尖端相连,其中,所述第一面的接触点具有至少一组由两个连至不同探针尖端的接触点组成的接触点对,所述接触点对的两个接触点通过信号线和开关件相连,以切换测试所述不同探针尖端的独立的两条测试线路以及所述不同探针尖端并联的测试线路,所述接触点对的两个接触点分别用于连至待测芯片的两个待测模块的焊垫,且该两个待测模块焊垫的电源通道的电压相同。
2.根据权利要求1所述的探针卡,其特征在于:所述第二面的每个接触点分别与第一面的一个或多个接触点相连。
3.根据权利要求2所述的探针卡,其特征在于:所述第二面的每个接触点分别与一个探针尖端相连。
4.根据权利要求1至3任一项所述的探针卡,其特征在于:所述开关件与测试设备信号连接,以通过测试设备控制开关件的开闭。
5.根据权利要求4所述的探针卡,其特征在于:所述开关件为继电器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510367325.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。