[发明专利]XY工作台有效
申请号: | 201510369745.X | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN105322754B | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 勒内·克拉韦尔;约翰·孔特尔 | 申请(专利权)人: | 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 |
主分类号: | H02K41/02 | 分类号: | H02K41/02;H02N15/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁丽超;陈鹏 |
地址: | 德国特劳*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | xy 工作台 | ||
1.一种XY工作台,具有用于反转工作台(6)的运动方向(X)的单独驱动器,其特征在于,铁磁肋条(14)在所述工作台(6)的边缘处突出并且与要反转的所述工作台(6)的所述运动方向(X)垂直地延伸,并且所述XY工作台具有磁轭(10),所述磁轭(10)用于至少在所述工作台(6)位于反转点处时容纳所述铁磁肋条(14),所述磁轭(10)的自由端具有极靴(10.1),所述极靴(10.1)将通过反转线圈(11)可开关的所述磁轭(10)中的磁通量聚集在介于所述极靴(10.1)之间的空气间隙(10.2)中,通过所述空气间隙(10.2),所述铁磁肋条(14)到达所述磁轭(10)的内部。
2.根据权利要求1所述的XY工作台,其特征在于,所述铁磁肋条(14)设置在所述工作台(6)的非铁磁突出部(14.1)上。
3.根据权利要求1或2所述的XY工作台,其特征在于,当所述铁磁肋条(14)至少部分地位于所述磁轭(10)的外部时,切断所述磁轭(10)中的所述磁通量,并且当所述铁磁肋条(14)完全位于所述磁轭(10)的所述空气间隙内时,接通所述磁通量。
4.根据权利要求1或2所述的XY工作台,其特征在于,具有反转线圈(11)和极靴(10.1)的磁轭(10)以及铁磁肋条(14)设置在所述工作台(6)的所述运动方向(X)的两侧,以便所述工作台(6)在所述运动方向(X)上能够来回移动。
5.根据权利要求4所述的XY工作台,其特征在于,在两个所述磁轭(10)之间的距离以及由此的所述工作台(6)的所述反转点之间的距离是可调节的。
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