[发明专利]一种物镜光阑杆微调装置有效
申请号: | 201510369852.2 | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN104952680B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 孟祥良;王大千 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/28 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 周美华 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 物镜 光阑 微调 装置 | ||
1.一种物镜光阑杆微调装置,其特征在于,包括:
第一导向结构(50),沿着水平方向延伸;
第二导向结构(10),预紧地设置在第一导向结构(50)上,用于固定连接光阑杆,在外力驱动第二导向结构(10)时,第二导向结构(10)沿着第一导向结构(50)的延伸方向移动;
进给组件(20),用于通过进给为所述第二导向结构(10)提供移动的作用力;
补偿组件(30),为所述进给组件提供挤压弹力,以消除进给组件的进给误差;
所述进给组件(20)为差动结构,包括第一螺纹副和第二螺纹副,所述第一螺纹副和所述第二螺纹副联动设置,当所述第一螺纹副发生进给时,所述第二螺纹副相对所述第一螺纹副发生反向进给;
所述第一螺纹副的导程为t1,所述第二螺纹副的导程为t2,|t1-t2|<t2,且|t1-t2|≠0。
2.根据权利要求1所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:
所述第一螺纹副包括固定设置的调节螺母(21),以及与所述调节螺母(21)螺纹连接的调节螺杆(22),所述调节螺杆(22)具有与所述调节螺母(21)配合的第一螺纹段(221)以及与所述第一螺纹段(221)导程不同的第二螺纹段(222);
所述第二螺纹副包括活动顶杆(23),所述活动顶杆(23)与所述第二螺纹段(222)配合连接,所述活动顶杆(23)用于与所述第二导向结构(10)接触。
3.根据权利要求2所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述调节螺杆(22)具有安装腔,所述活动顶杆(23)插入所述安装腔内并一端伸出所述安装腔;所述第二螺纹段(222)设置在所述安装腔的内壁上;所述第一螺纹段(221)设置在所述调节螺杆(22)的外壁上。
4.根据权利要求2或3所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述调节螺母(21)的内壁上设置凹槽,所述凹槽与所述调节螺母(21)的一端开口连通,所述凹槽内设置有轴承(223),调节螺杆(22)穿过所述轴承(223)。
5.根据权利要求2所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述活动顶杆(23)的外壁上沿轴向设置有直线导槽(231),还包括固定设置的固定销(232),所述固定销(232)插入所述直线导槽(231)中,以阻止所述活动顶杆(23)发生旋转。
6.根据权利要求3所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述活动顶杆(23)的伸出所述安装腔的端部设置有开口,所述开口内设置有顶珠。
7.根据权利要求2所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述补偿组件(30)包括用于消除第一螺纹副之间螺纹配合误差的第一补偿组件,和用于消除第二螺纹副之间螺纹配合误差的第二补偿组件。
8.根据权利要求7所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述第一补偿组件包括设置在所述调节螺杆(22)的端部与所述调节螺母(21)之间的第一弹性件(33),所述第一弹性件(33)通过向调节螺母(21)施加与进给组件的进给方向同向的弹性挤压力来消除所述第一螺纹副的螺纹配合误差。
9.根据权利要求7所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述第二补偿组件包括固定设置的支撑座(31)和连接在所述支撑座(31)上的第二弹性件(32),所述第二弹性件(32)通过向所述第二导向结构(10)提供与进给组件的进给方向反向的弹性挤压力来消除所述第二螺纹副的螺纹配合误差。
10.根据权利要求9所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:所述第二补偿组件还包括连接在所述第二弹性件(32)自由端的导向柱(34),所述第二弹性件(32)为弹簧,所述导向柱(34)上设置有径向凸缘,所述导向柱(34)的一端插入所述弹簧中并使得所述弹簧抵靠在所述径向凸缘上,所述导向柱的另一端与所述第二导向结构(10)接触。
11.根据权利要求1所述的物镜光阑杆微调装置,其特征在于:还包括调整座(40),调整座(40)包括水平部分(41)以及相对设置的两个竖直部分(42),所述水平部分(41)和两个所述竖直部分(42)形成安装空间,所述第一导向结构位于所述安装空间内并设置在水平部分(41)上,所述第二导向结构位于所述安装空间内,所述进给组件(20)和所述补偿组件安装在两个竖直部分(42)上。
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