[发明专利]一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法

权利要求书

1.一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置，其特征在于，包括偏振分束器，所述偏振分束器正下方的定位固定有聚光标准镜、所述聚光标准镜正下方的定位固定有激光扩束镜、激光扩束镜正下方的定位固定有激光光源，偏振分束器和检测激光光源之间设置有起偏器、在所述偏振分束器正右方的次第固定有第一1/4波片及待测镜片、偏振分束器正左方的定位固定有接收屏，偏振分束器正左方设置有检偏器、偏振分束器正上方的定位固定有第二1/4波片、第二1/4波片正上方设置有光学样板，所述激光扩束镜的中心轴线与光学样板的的光轴相交于偏振分束器的胶合面中心，接收屏垂直于光学样板的光轴；所述偏振分束器由两块等边直角棱镜的斜面胶合而成，其中一块等边直角棱镜的胶合面镀有偏振分光介质膜。

2.一种基于偏振干涉技术面型偏差检测方法，利用如权利要求1所述的一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置，其特征在于，包括以下步骤：

（1）旋转起偏器光轴方向，使分束器反射和透射的两束光光强相同；调节光学样板，使光学样板的光轴与透射光束的中心轴线重合，且光学样板的曲率中心与聚光标准镜的后焦点重合；调节待测镜片，使光学样板的光轴与反射光束的中心轴线重合；分别旋转光学样板和待测镜片前的1/4波片的光轴方向，使反射回接收屏的两束光的光强最大；旋转检偏器光轴方向，使两束光的光强相同;

（2）在光束的中心轴线方向前后移动待测镜片，观察干涉条纹，当干涉条纹数目最少时，采集干涉图样;

（3）将观测到的干涉条纹的图像特征及用球径仪仪器精确测量的光学样板的基准面的曲率半径经过分析计算，就可以得到待测透镜的待测面的半径偏差、象散偏差、局部偏差;

（4）用球径仪仪器精确测量的光学样板的基准面的曲率半径，经过计算可以得到待测透镜的待测面的曲率半径。