[发明专利]一种防撞真空手臂

权利要求书

1.一种防撞真空手臂，其特征在于，所述防撞真空手臂，包括：

末端执行器，直接与晶圆接触，并在所述末端执行器之端部设置与主控系统讯号连接的距离传感器；

肘板，用于固定所述末端执行器；

控制单元，用于控制所述防撞真空手臂之运动过程，并根据所述距离传感器之反馈信息，通过所述主控系统发出指令，一并由所述控制单元控制所述防撞真空手臂之运动过程，避免碰撞障碍物。

2.如权利要求1所述的防撞真空手臂，其特征在于，所述距离传感器为压电式超声波传感器。

3.如权利要求2所述的防撞真空手臂，其特征在于，所述压电式超声波传感器进一步包括超声波发射模块、超声波接收模块，以及主控系统报警电路。

4.如权利要求1所述的防撞真空手臂，其特征在于，在定义所述距离传感器一个信号收发周期内的信号发射时间为T_发，定义所述距离传感器的信号接收时间为T_收时，则所述距离传感器与障碍物之间的距离为

5.如权利要求4所述的防撞真空手臂，其特征在于，当所述距离传感器与障碍物之间的距离L大于预设安全距离时，所述控制单元指令所述防撞真空手臂继续运行；当所述距离传感器与障碍物之间的距离L小于预设安全距离时，所述距离传感器将信息反馈至所述主控系统，并通过所述控制单元指令所述防撞真空手臂停止运动。

6.如权利要求5所述的防撞真空手臂，其特征在于，所述预设安全距离以在半导体生产过程中，所述防撞真空手臂停止运动，而不会与障碍物发生碰撞的距离。

7.如权利要求6所述的防撞真空手臂，其特征在于，所述预设安全距离为2cm。