[发明专利]一种磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪的标定方法和测量方法

权利要求书

1.一种用于磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪的标定方法，磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源射出的激光束经所述分光镜组后分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述微动角反射镜，经所述微动角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第二激光束射向所述移动角反射镜，经所述移动角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第一激光束与第二激光束在射向所述干涉测量光电探测器时发生干涉，其特征在于，所述磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器，所述第二激光束在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器；

所述磁性微位移平台，包括有支撑平台和设置在所述支撑平台上的位移装置，所述支撑平台上设置有第一位移件，所述第一位移件与所述位移装置连接，所述位移装置带动所述第一位移件沿所述支撑平台运动，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第一位移件的斜面上滑动设置有第二位移件，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述支撑平台上还设置有约束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述位移装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，0＜A＜45，所述第一位移件与所述支撑平台之间还设置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件与所述磁性件为异性相吸状态，所述微动角反射镜设置在所述第二位移件上，随第二位移件运动，所述分光镜组包括有第一分光镜和第二分光镜，所述激光源射出的激光束先射到第一分光镜，经第一分光镜反射形成第一激光束，经第一分光镜透射形成第二激光束，第一激光束射向所述微动角反射镜，经反射后再次射向所述第一分光镜，然后再透射过所述第一分光镜，所述第二激光束射向所述移动角反射镜，经所述移动角反射镜反射后射向所述第二分光镜，经所述第二分光镜透射后射向所述第一分光镜，并且与从所述第一分光镜透射出的第一激光束发生干涉，形成干涉光束后射向所述干涉测量光电探测器，由所述移动角反射镜射向所述第二分光镜的所述第二激光束还被所述第二分光镜反射形成所述反射激光束，其特征在于，包括下述步骤：

步骤一、位置调整：调整好激光源、微动角反射镜、分光镜组、干涉测量光电探测器、反射测量光电探测器、移动角反射镜和磁性微位移平台的位置；

步骤二、调整光路：启动所述激光源，进一步精确调整微动角反射镜、分光镜组、干涉测量光电探测器、反射测量光电探测器、移动角反射镜和磁性微位移平台的位置，使激光干涉仪的光路达到设计要求；

步骤三、生成最强干涉数据库：在空气洁净的环境下控制所述磁性微位移平台，使第二位移件移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最强相长干涉时停止所述磁性微位移平台，使第二位移件被固定，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到最强干涉数据库。

2.如权利要求1所述的标定方法，其特征在于，还包括有步骤四、生成最弱干涉数据库：在空气洁净的环境下控制所述磁性微位移平台，使第二位移件移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最弱相消干涉时停止所述磁性微位移平台，使第二位移件被固定，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到最弱干涉数据库。

3.如权利要求2所述的标定方法，其特征在于，还包括有步骤五、生成1/n波长干涉数据库，n为大于或等2的正整数：在空气洁净的环境下控制所述磁性微位移平台，使第二位移件移动，当射向所述干涉测量光电探测器的干涉光束为最强相长干涉时，再继续移动1/2n波长的距离，记录此时反射测量光电探测器读数和干涉测量光电探测器读数，然后改变空气环境使所述反射测量光电探测器读数变化，同时记录若干个反射测量光电探测器读数以及对应的干涉测量光电探测器读数，得到1/n波长干涉数据库。