[发明专利]一种半导体封装方法有效
申请号: | 201510374391.8 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN105047569B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 石磊 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 226004 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 方法 | ||
1.一种半导体封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
a)制作高引脚的金属框架(1);
b)将所述金属框架(1)与芯片(3)背面粘接;
c)将所述金属框架(1)的引脚与所述芯片(3)正面的门极通过焊线(4)倒打线的方式焊接;d)将所述金属框架(1)的引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接;
其中,所述倒打线的方式用于降低所述焊线(4)的弧高。
2.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,在制作高引脚金属框架(1)的步骤中,金属框架的引脚高度大于芯片的厚度。
3.如权利要求1或2所述的半导体封装方法,其特征在于,在所述金属框架(1)与芯片(3)的背面粘接的步骤中,粘接方式为在所述金属框架(1)表面涂助焊剂(2)再回流焊。
4.如权利要求1或2所述的半导体封装方法,其特征在于,在所述金属框架(1)与芯片(3)背面粘接的步骤中,粘接方式为在所述金属框架(1)表面刷粘片胶(7)再烘烤。
5.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,在所述金属框架(1)的其他引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接的步骤之前,还包括在:在金属片(6)的下面设置强介电材料(5)。
6.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述金属片(6)材质为铜、铝等金属。
7.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述金属片(6)放置的位置与金属框架(1)的位置相对应,覆盖在所述芯片(3)正面以及所述金属框架(1)的引脚之上。
8.如权利要求1或2所述的半导体封装方法,其特征在于,在所述金属框架(1)的引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接的步骤中,将所述金属框架(1)的其他引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接。
9.如权利要求8所述的半导体封装方法,其特征在于,在所述金属框架(1)的引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接的步骤中,所述金属框架(1)的其他引脚和芯片(3)正面的圆区与金属片(6)桥接的方式为,在所述金属框架(1)的其他引脚和所述芯片(3)正面刷一层助焊剂(2),然后进行回流焊。
10.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述金属框架(1)材质为铜、铝、银或合金。
11.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述焊线(4)的材质为金、铜或合金。
12.如权利要求1所述的半导体封装方法,其特征在于,所述金属片(6)的材质为铜、铝或合金,形状为平板状。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造