[发明专利]太阳能电池外延片及其制作方法

权利要求书

1.一种太阳能电池外延片，包括依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、牺牲层(3)和太阳能电池层(4)，其特征在于，所述牺牲层(3)至少包括第一牺牲层(31)和第二牺牲层(32)，所述第一牺牲层(31)紧贴所述缓冲层(2)设置，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)设置，所述第一牺牲层(31)的被腐蚀速度大于所述第二牺牲层(32)的被腐蚀速度；

在所述第一牺牲层(31)上分布有多个相互平行的条形凹槽(311)，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述条形凹槽(311)紧密配合的条形凸起(321)；和/或，

在所述第一牺牲层(31)上分布有多个孔(312)，所述孔(312)位于相互平行的多条直线上，位于同一直线上的相邻两个所述孔(312)之间的距离小于0.5毫米，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述孔(312)紧密配合的凸起(322)。

2.如权利要求1所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的材料为Al_xGa_1-xAs，所述第二牺牲层(32)的材料为Al_yGa_1-yAs，且x>y。

3.如权利要求2所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的Al_xGa_1-xAs材料中x为0.7～1，所述第二牺牲层(32)的Al_yGa_1-yAs材料中y为0.6～0.7。

4.如权利要求1-3中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于：

所述衬底(1)的对侧具有两个相互平行的切边(11)；

所述条形凹槽(311)垂直于所述衬底(1)的两个切边(11)；

所述孔(312)所在的直线垂直于所述衬底(1)的两个切边(11)。

5.如权利要求1-3中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述条形凹槽(311)的宽度为0.5～2毫米，所述孔(312)为圆孔，其内径为0.5～2毫米，相邻两个所述条形凹槽(311)之间距离为5～20毫米，所述孔(312)所在的相邻两条平行直线之间的距离为5～20毫米。

6.如权利要求1-3中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的总厚度为0.5～8微米，且所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的厚度比为3～5:1。

7.如权利要求1所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述条形凹槽(311)纵截面为上方开口的方形或梯形或弧形或U形，所述孔(312)为圆柱形、长方体形、圆锥形、棱锥形、圆台形或棱台形。

8.一种太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

在衬底(1)上外延生长缓冲层(2)；

在所述缓冲层(2)上外延生长第一牺牲层(31)；

在所述第一牺牲层(31)上制作出多个相互平行的条形凹槽(311)和/或位于相互平行的多条直线上的多个孔(312)，位于同一条直线上的相邻两个所述孔(312)之间的距离小于0.5毫米；

在所述第一牺牲层(31)上外延生长第二牺牲层(32)，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)，且所述第二牺牲层(32)上形成与所述条形凹槽(311)紧密配合的条形凸起(321)和/或与所述孔(312)紧密配合的凸起(322)，所述第一牺牲层(31)被腐蚀速度大于所述第二牺牲层(32)的被腐蚀速度；

在所述第二牺牲层(32)上外延生长太阳能电池层(4)制作出太阳能电池外延片。

9.如权利要求8所述的太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，在所述第一牺牲层(31)上制作出多个相互平行的所述条形凹槽(311)和/或位于相互平行的多条直线上的多个所述孔(312)利用的是干法刻蚀工艺、或利用的是光刻和湿法腐蚀工艺，外延生长所述缓冲层(2)、所述第一牺牲层(31)、所述第二牺牲层(32)和所述太阳能电池层(4)采用的是金属有机化合物化学气相外延技术。

10.如权利要求8所述的太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的厚度为0.4～6.4微米，所述第二牺牲层(32)的厚度为0.1～1.6微米，所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的总厚度为0.5～8微米，且所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的厚度比为3～5:1。