[发明专利]制造电路载体和连接电导体与电路载体的金属化层的方法有效

专利信息
申请号: 201510375933.3 申请日: 2015-07-01
公开(公告)号: CN105244293B 公开(公告)日: 2018-12-25
发明(设计)人: M.埃瑟特;M.诺曼;T.诺伊贝尔;G.施特罗特曼 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/58 分类号: H01L21/58;H05K1/00;H05K3/32;C04B41/88
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 卢江;徐红燕
地址: 德国瑙伊比*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 制造 电路 载体 连接 导体 金属化 方法
【权利要求书】:

1.用于制造电路载体(10)的方法,具有如下步骤:

提供电绝缘的载体(1),所述载体具有上侧(1t),以及与所述上侧(1t)相对的下侧(1b);

在所述上侧(1t)上提供第一金属薄膜(21);

在所述第一金属薄膜(21)上提供第二金属薄膜(22);

在所述第一金属薄膜(21)与所述第二金属薄膜(22)之间提供硬化材料(20);

制造在所述上侧(1t)上布置的且具有硬化地带(25)的上部的金属化层(2),其中所述硬化地带(25)的至少一个连续的区段(250)通过所述硬化材料(20)的至少一部分扩散到所述第一金属薄膜(21)中并且所述硬化材料(20)的至少另一部分扩散到所述第二金属薄膜(22)中的方式产生。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述连续的区段(250)具有至少5μm和/或至多100μm的厚度(d25)。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连续的区段(250)具有至少1mm2或至少4mm2的基本面积(A250)。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连续的区段(250)在每个位置都具有大于所述第一金属薄膜(21)的第二硬度(H21)的第一硬度(H25)。

5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所提供的载体(1)被构造为陶瓷层或坯件。

6.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述第一金属薄膜(21)在施加所述硬化材料(20)之前或之后材料配合地与所述载体(1)连接。

7.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述上部的金属化层(2)的厚度(d2)为最高2mm。

8.根据权利要求1或2所述的方法,其中

所提供的电绝缘的载体(1)被构造为陶瓷层,所述陶瓷层在制造所述硬化地带(25)之前和/或期间和/或之后材料配合地与所述第一金属薄膜(21)连接;或者

所提供的电绝缘的载体(1)被构造为坯件,所述坯件在制造所述硬化地带(25)之前和/或期间和/或之后材料配合地与所述第一金属薄膜(21)连接。

9.根据权利要求1或2所述的方法,其中在制造所述硬化地带(25)之后将所述上部的金属化层(2)结构化。

10.根据权利要求1或2所述的方法,其中没有电器件通过焊接或烧结连接与所述上部的金属化层(2)的背离所述载体(1)的侧连接。

11.用于将电路载体(10)的金属化层(2)与电导体(7)连接的方法,具有如下步骤:

提供电路载体(10),所述电路载体具有:带有上侧(1t)和与所述上侧(1t)相对的下侧(1b)的电绝缘的载体(1);以及上部的金属化层(2),所述金属化层被布置在所述上侧(1t)上并且所述金属化层具有带有第一硬度(H25)的硬化地带(25);以及与所述硬化地带(25)不同的地带(21,22),所述地带(21,22)具有第二硬度(H21,H22),其中所述第二硬度(H21,H22)小于所述第一硬度(H25),并且其中所述硬化地带(25)具有连续的区段(250);

在所述上部的金属化层(2)的背离所述电绝缘的载体(1)的侧上确定连接部位(28),其中所述连接部位(28)的位置被选择成,使得所述硬化地带(25)被布置在所述连接部位(28)和所述电绝缘的载体(1)之间;和

在所述连接部位(28)上通过超声波焊接建立所述上部的金属化层(2)和所述电导体(7)之间的导电的、材料配合的连接。

12.根据权利要求11所述的方法,其中电路载体(10)的提供包括根据权利要求1至10中任一项所述的方法制造电路载体(10)。

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