[发明专利]制造电路载体和连接电导体与电路载体的金属化层的方法有效
申请号: | 201510375933.3 | 申请日: | 2015-07-01 |
公开(公告)号: | CN105244293B | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | M.埃瑟特;M.诺曼;T.诺伊贝尔;G.施特罗特曼 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58;H05K1/00;H05K3/32;C04B41/88 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 卢江;徐红燕 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 电路 载体 连接 导体 金属化 方法 | ||
1.用于制造电路载体(10)的方法,具有如下步骤:
提供电绝缘的载体(1),所述载体具有上侧(1t),以及与所述上侧(1t)相对的下侧(1b);
在所述上侧(1t)上提供第一金属薄膜(21);
在所述第一金属薄膜(21)上提供第二金属薄膜(22);
在所述第一金属薄膜(21)与所述第二金属薄膜(22)之间提供硬化材料(20);
制造在所述上侧(1t)上布置的且具有硬化地带(25)的上部的金属化层(2),其中所述硬化地带(25)的至少一个连续的区段(250)通过所述硬化材料(20)的至少一部分扩散到所述第一金属薄膜(21)中并且所述硬化材料(20)的至少另一部分扩散到所述第二金属薄膜(22)中的方式产生。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述连续的区段(250)具有至少5μm和/或至多100μm的厚度(d25)。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连续的区段(250)具有至少1mm2或至少4mm2的基本面积(A250)。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连续的区段(250)在每个位置都具有大于所述第一金属薄膜(21)的第二硬度(H21)的第一硬度(H25)。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所提供的载体(1)被构造为陶瓷层或坯件。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述第一金属薄膜(21)在施加所述硬化材料(20)之前或之后材料配合地与所述载体(1)连接。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述上部的金属化层(2)的厚度(d2)为最高2mm。
8.根据权利要求1或2所述的方法,其中
所提供的电绝缘的载体(1)被构造为陶瓷层,所述陶瓷层在制造所述硬化地带(25)之前和/或期间和/或之后材料配合地与所述第一金属薄膜(21)连接;或者
所提供的电绝缘的载体(1)被构造为坯件,所述坯件在制造所述硬化地带(25)之前和/或期间和/或之后材料配合地与所述第一金属薄膜(21)连接。
9.根据权利要求1或2所述的方法,其中在制造所述硬化地带(25)之后将所述上部的金属化层(2)结构化。
10.根据权利要求1或2所述的方法,其中没有电器件通过焊接或烧结连接与所述上部的金属化层(2)的背离所述载体(1)的侧连接。
11.用于将电路载体(10)的金属化层(2)与电导体(7)连接的方法,具有如下步骤:
提供电路载体(10),所述电路载体具有:带有上侧(1t)和与所述上侧(1t)相对的下侧(1b)的电绝缘的载体(1);以及上部的金属化层(2),所述金属化层被布置在所述上侧(1t)上并且所述金属化层具有带有第一硬度(H25)的硬化地带(25);以及与所述硬化地带(25)不同的地带(21,22),所述地带(21,22)具有第二硬度(H21,H22),其中所述第二硬度(H21,H22)小于所述第一硬度(H25),并且其中所述硬化地带(25)具有连续的区段(250);
在所述上部的金属化层(2)的背离所述电绝缘的载体(1)的侧上确定连接部位(28),其中所述连接部位(28)的位置被选择成,使得所述硬化地带(25)被布置在所述连接部位(28)和所述电绝缘的载体(1)之间;和
在所述连接部位(28)上通过超声波焊接建立所述上部的金属化层(2)和所述电导体(7)之间的导电的、材料配合的连接。
12.根据权利要求11所述的方法,其中电路载体(10)的提供包括根据权利要求1至10中任一项所述的方法制造电路载体(10)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造