[发明专利]一种直拉单晶的拉晶方法

权利要求书

1.一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，装料：将多晶硅原料和复拉料混装在石英坩埚中，其中，装料时多晶硅原料和复拉料按重量比(2-4)：1的比例进行装料，并且将复拉料放置在石英坩埚边缘位置，将多晶硅原料放置在石英坩埚的中间位置；

第二步，化料：将复拉料和多晶硅原料熔化；具体包括以下步骤：

第1步，化料开始时加热器以常规化料功率运行、石英坩埚转速为常规转速N转/min；

第2步，从化料第2h开始，化料功率比常规化料功率增大10kW-15kW，并且石英坩埚转速以10s、20s、30s、40s以及50s的时间间隔对应为N转/min、(N+1)转/min、(N+3)转/min、(N+5)转/min以及(N+7)转/min，并且维持在(N+7)转/min；

第三步，杂质提出：在第二步的化料工序后期，降低主加热器功率至引晶功率、相对于常规化料工序中石英坩埚转速N转/min，增大坩埚转速为(N+8)转/min使液面表面快速结晶，采用旧籽晶将坩埚内未熔化的多晶硅原料提出，同时将石英坩埚转速降为(N+7)转/min；

第四步，稳定化：在稳定化过程中将加热器功率调整为常规化料功率，石英坩埚转速调整为(N+2)转/min，氩气流量调整为拉晶氩气流量的50％-70％，单晶炉腔体内压强为0.2kPa-0.4kPa，稳定化持续时间为第二步化料时间的1/10-1/6；

第五步，引晶；

第六步，放肩；

第七步，收尾。

2.如权利要求1所述的一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，所述步骤二整个化料过程在氩气气氛中进行，并且通过控制真空泵节流阀开度使单晶炉腔体内压强保持在0.7kPa-1kPa。

3.如权利要求1所述的一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，所述步骤五引晶时引晶长度为拉制晶体直径的1.2-1.4倍，细颈直径控制在6mm±1mm。

4.如权利要求1所述的一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，所述步骤六放肩时采用高拉速放肩方式，其肩部形状控制锥度为35°-45°。

5.如权利要求1所述的一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，所述步骤七收尾时尾部长度为晶体直径的0.8-1.0倍，尾部断面直径≤10mm。

6.如权利要求5所述的一种直拉单晶的拉晶方法，其特征在于，所述步骤七收尾后石英坩埚中剩料质量为步骤一中装料总质量的8％-10％。