[发明专利]能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：

气体容器，其收容激光气体；

第一传感器，其检测上述气体容器内的激光气体的压力；

气体供给源，其对上述气体容器提供激光气体；

真空泵，其从上述气体容器排出激光气体；

第一控制阀，其能够通过调节开度来控制提供给上述气体容器的激光气体的量；

第二控制阀，其能够通过调节开度来控制从上述气体容器排出的激光气体的量；以及

控制装置，其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度，其中，

上述控制装置具备：

第一存储部，其存储表示上述气体容器内的激光气体的压力、上述第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据；

气体压力控制部，其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度，使得上述气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力；

气体消耗量控制部，其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度，使得激光气体的排出量接近目标消耗量。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备：

电源，其提供针对上述气体容器内的激光气体的激发能量；

第二传感器，其检测从上述电源提供的电压或电流，其中，

上述控制装置还具备：

第二存储部，其存储基准电压或基准电流；

比较部，其将通过上述第二传感器检测出的电压或电流与上述基准电压或上述基准电流进行比较；

气体消耗量设定部，其根据上述比较部的比较结果来设定上述目标消耗量。

3.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

上述控制装置还具备：气体消耗量设定部，其根据该气体激光振荡器的运转状况来设定上述目标消耗量。