[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 201510378895.7 | 申请日: | 2015-07-01 |
公开(公告)号: | CN105319850B | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 赵庸桓;全吉敏;朴汉雨 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/00 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 石宝忠 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 感光性树脂组合物 负型感光性树脂组合物 多官能硫醇化合物 光聚合引发剂 碱可溶性树脂 聚合性化合物 混合重量比 低温固化 结构表示 反应性 溶剂 图案 | ||
本发明涉及感光性树脂组合物。本发明涉及负型感光性树脂组合物,其包含:包含由特定结构表示的重复单元的第1树脂、包含第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、3官能以上的多官能硫醇化合物(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E),上述第1树脂与上述第2树脂的混合重量比为50:50~90:10,由此在低温固化条件下也能够形成反应性和耐久性优异的图案。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物,更具体地说,涉及即使在低温固化条件下也能够形成反应性和耐久性优异的图案的感光性树脂组合物。
背景技术
在显示器领域中,感光性树脂组合物用于形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑底、柱状间隔物等各种光固化图案。具体地,将感光性树脂组合物采用光刻工序选择性地曝光和显影,形成所需的光固化图案,但该过程中,为了提高工序上的收率,提高应用对象的物性,要求具有高感光度的感光性树脂组合物。
感光性树脂组合物的图案形成利用光刻法,即通过光反应而发生的高分子的极性变化和交联反应。特别地,利用曝光后对于碱水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。
采用感光性树脂组合物的图案形成,根据感光的部分的对于显影的溶解度,分类为正型和负型。正型光致抗蚀剂是通过利用显影液将曝光的部分溶解,负型光致抗蚀剂是通过曝光的部分不溶解于显影液,而是将没有曝光的部分溶解,从而形成图案的方式,正型和负型在使用的粘结剂树脂、交联剂等上彼此不同。
近年来,具备触摸面板的触摸屏的使用激增,最近,柔性触摸屏在得到关注。因此,对于用于触摸屏的各种基板等的原料,必须具备柔性的特性,因此能够使用的原料也限制在柔性的高分子原料,制造工序也要求在更温和的条件下进行。
因此,感光性树脂组合物的固化条件也不再是以往的高温固化,而要求低温固化的必要性,但低温固化存在反应性降低和形成的图案的耐久性降低的问题。
韩国注册专利第10-1302508号公报记载了负型感光性树脂组合物,其通过包含使用丙烯酸环己烯酯系单体聚合而成的共聚物,耐热性和耐光性优异,并且能够提高感光度,但低温固化条件下不能发挥所要求的耐久性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:韩国注册专利第10-1302508号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于提供低温下能够固化、并且反应性优异、形成的图案的耐化学性等耐久性优异的负型感光性树脂组合物。
此外,本发明的目的在于提供在光刻工序中具有优异的图案形成能力的负型感光性树脂组合物。
此外,本发明的目的在于提供用上述感光性树脂组合物形成的光固化图案。
用于解决课题的手段
1.负型感光性树脂组合物,其包含:含有包含下述化学式1所示的重复单元的第1树脂和包含下述化学式2所示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、3官能以上的多官能硫醇化合物(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E),上述第1树脂与上述第2树脂的混合重量比为50:50~90:10。
[化学式1]
[式中,R1、R2和R3相互独立地为氢或甲基,
R4为来自从甲基丙烯酸、丙烯酸、琥珀酸2-丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2-甲基丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构,
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