[发明专利]硅基低漏电流悬臂梁浮动栅的RS触发器有效

专利信息
申请号: 201510380063.9 申请日: 2015-07-01
公开(公告)号: CN104935301B 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 廖小平;褚晨蕾 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: H03K3/012 分类号: H03K3/012;H03K3/02
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 代理人: 杨晓玲
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅基低 漏电 悬臂梁 浮动 rs 触发器
【权利要求书】:

1.一种硅基低漏电流悬臂梁浮动栅的RS触发器,其特征在于该RS触发器由两个与非门构成,每一个与非门由两个NMOS开关管(1)与一个电阻R串联组成,其中,第一与非门(①)的一个输入端接第二与非门(②)的输出端,第二与非门(②)的一个输入端接第一与非门(①)的输出端,第一输入信号(R)接第一与非门(①)中NMOS开关管(1)的悬臂梁浮动栅(6),第二输入信号(S)接第二与非门(②)中NMOS开关管(1)的悬臂梁浮动栅(6);整个RS触发器基于P型Si衬底(2)上制作,四个NMOS开关管(1)具有可以上下浮动的悬臂梁浮动栅(6),该悬臂梁浮动栅(6)由Al制作,悬臂梁浮动栅(6)的一端固定在锚区(5)上,另一端横跨在栅氧化层(10)上方,在悬臂梁浮动栅(6)下方有两个下拉电极(7),分布在锚区(5)与栅氧化层(10)之间,下拉电极(7)是接地的,其上还覆盖有氮化硅介质层(8),这种结构具有低漏电流、低功耗的巨大优点。

2.根据权利要求1所述的硅基低漏电流悬臂梁浮动栅的RS触发器,其特征在于四个NMOS开关管(1)的阈值电压设计为相等,而悬臂梁浮动栅(6)的下拉电压设计为与NMOS开关管(1)的阈值电压相等,只有当NMOS开关管(1)的悬臂梁浮动栅(6)与下拉电极(7)间的电压大于阈值电压时,悬浮的悬臂梁浮动栅(6)才会下拉贴至栅氧化层(10)上使得NMOS开关管(1)导通,否则NMOS开关管(1)就截止。

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