[发明专利]可变形镜及其制造方法、眼科装置以及自适应光学系统

权利要求书

1.一种可变形镜，其特征在于，包括：

镜基底，包括反射面；和

致动器单元，包括第一致动器、第二致动器和连接到镜基底的连接部，

第一致动器和第二致动器经由连接部连接到镜基底，

第一致动器包括通向连接部的第一可移动部、用于使连接部在与所述反射面垂直的第一方向上移位的具有第一可移动梳状电极和第一固定梳状电极的第一电极对、用于支撑第一固定梳状电极的第一支撑部和连接到支撑部和所述第一可移动部的第一弹性构件，

第二致动器包括通向连接部的第二可移动部、用于使连接部在与第一方向相反的第二方向上移位的具有第二可移动梳状电极和第二固定梳状电极的第二电极对、用于支撑第二固定梳状电极的第二支撑部和连接到支撑部和所述第二可移动部的第二弹性构件，第二电极对与第一电极对分开形成，

其中，第一可移动部和第二可移动部包括公共的可移动部，

其中，所述第一可移动梳状电极在所述公共的可移动部上形成，所述第一固定梳状电极与第一可移动梳状电极啮合，并且

其中，所述第二可移动梳状电极在所述公共的可移动部上形成，所述第二固定梳状电极与第二可移动梳状电极啮合。

2.根据权利要求1所述的可变形镜，还包括用于向各个固定梳状电极施加不同电压的电压施加单元。

3.根据权利要求1所述的可变形镜，其中，所述公共的可移动部、第一可移动梳状电极和第二可移动梳状电极在电气上具有相同的电位。

4.根据权利要求1所述的可变形镜，

其中，所述第一可移动梳状电极包括与所述反射面垂直的表面，所述与所述反射面垂直的表面包括与所述第一固定梳状电极相对的区域和不与所述第一固定梳状电极相对的区域，

其中，所述第二可移动梳状电极包括与所述反射面垂直的表面，所述与所述反射面垂直的表面包括与所述第二固定梳状电极相对的区域和不与所述第二固定梳状电极相对的区域，

其中，在第一电极对中，第一可移动梳状电极的不与第一固定梳状电极相对的区域相对于与第一固定梳状电极相对的区域在镜基底侧形成，并且

其中，在第二电极对中，第二可移动梳状电极的与第二固定梳状电极相对的区域相对于不与第二固定梳状电极相对的区域在镜基底侧形成。

5.根据权利要求1所述的可变形镜，其中，多个弹性构件围绕可移动部等角地布置。

6.根据权利要求1所述的可变形镜，

其中，第一致动器包括两组第一电极对，并且第二致动器包括两组第二电极对，并且

其中，所述两组第一电极对和所述两组第二电极对均被布置为相对于它们之间的可移动部而彼此180°旋转对称。

7.一种可变形镜，其特征在于，包括：

镜基底，包括反射面；和

致动器，包括第一致动器、第二致动器和连接到镜基底的连接部，

多个致动器中的每一个经由连接部连接到镜基底，

第一致动器包括用于使连接部在与所述反射面垂直的第一方向上移位的、梳状电极结构的第一电极对，

第二致动器包括用于使连接部在与第一方向相反的第二方向上移位的、梳状电极结构的第二电极对，第二电极对与第一电极对分开形成，

其中，第一致动器和第二致动器被形成为在与所述反射面垂直的方向上彼此垂直偏移并且彼此同轴地连接，并且

其中，第一致动器的可移动部包括第一可移动部，第二致动器的可移动部包括不同于第一可移动部的第二可移动部。