[发明专利]一种用于超结器件的外延片的制作方法和结构有效
| 申请号： | 201510382301.X | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN106328687B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 李理;马万里;赵圣哲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 器件 外延 制作方法 结构 | ||
【说明书】：
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