[发明专利]测量探头

说明书

技术领域

本发明涉及一种测量探头，特别是涉及一种在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力的测量探头。

背景技术

接触被测物体的表面来检测被测物体的表面的形状的测量装置已知有例如三维测量机等。在三维测量机中，使用有用于接触被测物体来检测其表面形状的测量探头(日本特许第4417114号公报，以下称为专利文献1)。专利文献1中所示的测量探头包括：触针，其具有用于接触被测物体(的表面)的接触部；轴运动机构，其具备移动构件，该移动构件使该接触部能够沿测量探头的中心轴线的方向(也称为Z方向、轴向O)移动；以及旋转运动机构，其具备旋转构件，该旋转构件通过旋转运动而使所述接触部能够沿与该Z方向成直角的面移动。在专利文献1中，轴运动机构与旋转运动机构以串联的方式连接，且形成为使触针的接触部能够移动的方向互不相同。

发明内容

发明要解决的问题

触针根据被测物体而进行改变。此时，通过选择与该改变了的触针对应的轴运动机构和旋转运动机构，能够实现与该触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力(使触针的位移返回至原始状态的力)。然而，若触针包含微小的差异就计为不同的话则触针的数量会较庞大，若为所有这些触针准备最佳的轴运动机构和旋转运动机构，则要花费高额的费用，无法进行实际的应对。因此，针对特性(质量、长度等)在一定程度上接近的多个触针，应用同一个轴运动机构和旋转运动机构。

然而，在如专利文献1那样轴运动机构和旋转运动机构成为一体的情况下，必须同时改变轴运动机构和旋转运动机构。例如，针对改变了的触针，即使在虽然能够容许轴运动机构和旋转运动机构中的任一运动机构但改变另一运动机构的做法较好的情况下等，也不得不同时改变这两个运动机构。也就是说，在确保相应的运动机构的性能并实现相应的检测灵敏度和恢复力方面，对于专利文献1这样的结构，难以在抑制成本的同时恰当地选择轴运动机构和旋转运动机构。

本发明是为了解决所述的问题而完成的，其课题在于提供一种在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力的测量探头。

用于解决问题的方案

本申请的技术方案1的发明通过如下技术特征解决所述课题：一种测量探头，其包括：触针，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构，其具备移动构件，该移动构件使该接触部能够沿轴向移动；以及旋转运动机构，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使所述接触部能够沿着与该轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括：探头主体，其用于内置所述轴运动机构和所述旋转运动机构中的任一运动机构；以及探头模块，其被支承于该探头主体，并用于内置该轴运动机构和该旋转运动机构中的另一运动机构，并支承所述触针，所述探头主体与所述探头模块利用能够互相进行定位的第1卡合部以能够装卸的方式连结起来。

本申请的技术方案2的发明是，将所述轴运动机构内置于所述探头主体，并且将所述旋转运动机构内置于所述探头模块。

本申请的技术方案3的发明是，针对一个所述探头主体准备多个所述探头模块，并使所述旋转构件进行了位移时的每单位位移量的恢复力根据每个探头模块而不同。

本申请的技术方案4的发明是，所述旋转构件在相对于所述旋转运动机构的旋转中心而言与触针相反的一侧的部位设有平衡构件，该旋转中心与该平衡构件之间的距离形成为能够调整。

本申请的技术方案5的发明是，针对一个所述探头主体准备多个所述探头模块，并使所述旋转中心与所述平衡构件之间的距离根据每个探头模块而不同。

本申请的技术方案6的发明是，针对一个所述探头主体准备多个所述探头模块，并使所述旋转构件在相对于所述旋转运动机构的旋转中心而言与触针相反的一侧的部位设有平衡构件，并使该平衡构件的质量根据每个探头模块而不同。

本申请的技术方案7的发明是，所述探头模块包括：平衡配重，其与所述触针的质量对应；以及平衡机构，其被支承于用于支承所述轴运动机构的轴外壳构件，并用于取得所述触针与该平衡配重之间的平衡。

本申请的技术方案8的发明是，针对一个所述探头主体准备多个所述探头模块，并使所述平衡配重的质量根据每个探头模块而不同。

本申请的技术方案9的发明是，将所述轴运动机构内置于所述探头模块，并且将所述旋转运动机构内置于所述探头主体。