[发明专利]电磁高真空充气阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于真空系统的充气阀，尤其是涉及一种电磁高真空充气阀。

背景技术

电磁高真空充气阀是真空系统中一种新出现的阀门，当真空系统中需要破坏真室时，目前常采用手动充气的方法。用手动充气的方法，工作效率很低，且不能用自动控制的技术，用充气阀接入真空系统中，快速而精確地控制真空系统的真空度。如果用一般的电磁阀，不能做到在需要充气时，灵活地接通空气和真空系统；而在停止充气时，难以保证真空系统的密闭性。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种结构简单、性能可靠的电磁高真空充气阀，能在需要充气时，灵活地接通空气和真空系统；而在停止充气时，能保证真空系统的密闭性。

本发明是这样实现的：一种电磁高真空充气阀，它包括电磁组合、上弹簧、衔铁、阀芯、小密封圈、下弹簧、夹布膜片、大密封圈、过滤板、主体、上盖、膜布压盘、膜片座和耐磨塞。所述衔铁与所述阀芯滑动配合，所述上弹簧装在衔铁内孔里。

所述衔铁下端内孔里压入耐磨塞，耐磨塞有中心孔。所述夹布膜片上有小通气孔，小通气孔直径小于所述耐磨塞的中心孔的直径。

所述阀芯下端固紧在上盖上，上盖与主体用螺钉固紧。所述夹布膜片周边压紧在上盖与主体之间，上盖与夹布膜片之间形成背压腔室，主体与夹布膜片之间形成工作气体腔室。

所述下弹簧套在衔铁下端和所述膜片座上端之间，夹布膜片中间孔套在膜片座上，膜布压盘内孔紧套在膜片座上，压紧夹布膜片。

所述主体四边窗口上各固紧一块过滤板。

所述耐磨塞的材料为耐磨橡胶。

所述夹布膜片材料为腈纶丝夹布橡胶，使用寿命十万次以上。

所述主体材料为铝合金LY12。

所述过滤板材料为铜合金H59。

充气量较大的电磁高真空充气阀，主体四边窗口上，三面接空气过滤器一面封闭，或二面接空气过滤器二面封闭，或一面接空气过滤器三面封闭。

本发明的有益效果，使电磁高真空充气阀能连接在真空系统中，可靠地控制真空系统的真空度，解决了原先用手动方式破坏真空状态效率低和不能自动控制真空度的问题。

附图说明

图1：电磁高真空充气阀失电关闭状态图（实施方案一）；

图2：电磁高真空充气阀通电打开状态图（实施方案一）；

图3：电磁高真空充气阀失电关闭状态图（实施方案二）；

图4：电磁高真空充气阀通电打开状态图（实施方案二）。

具体实施方式

下面结合附图的实施方式对本发明作进一步详细说明：

实施方案一

如图1、2所示，一种电磁高真空充气阀，它包括电磁组合1、上弹簧2、衔铁3、阀芯4、小密封圈5、下弹簧6、夹布膜片7、大密封圈8、过滤板9、主体10、上盖11、膜布压盘12、膜片座13和耐磨塞14。所述衔铁3与所述阀芯4滑动配合，所述上弹簧2装在衔铁3内孔里。

所述膜片座13有中心孔18，所述夹布膜片7上有小通气孔15，小通气孔15直径小于所述膜片座13的中心孔18的直径。

所述阀芯4下端固紧在上盖11上，上盖11与主体10用螺钉固紧。所述夹布膜片7周边压紧在上盖11与主体10之间，上盖11与夹布膜片7之间形成背压腔室16，主体10与夹布膜片7之间形成工作气体腔室17。

所述下弹簧6套在衔铁3下端和所述膜片座13上端之间，夹布膜片7中间孔套在膜片座13上，膜布压盘12内孔紧套在膜片座13上，压紧夹布膜片7。

所述主体10四边窗口上各固紧一块过滤板9。

所述耐磨塞14的材料为耐磨橡胶。

所述夹布膜片7材料为腈纶丝夹布橡胶，使用寿命十万次以上。

所述主体10材料为铝合金LY12。

所述过滤板9材料为铜合金H59。

实施方案二

如图3、4所示，充气量较大的电磁高真空充气阀，在主体10四边窗口上，三面接空气过滤器（图中未示）一面封闭，或二面接空气过滤器（图中未示）二面封闭，或一面接空气过滤器（图中未示）三面封闭。

电磁高真空充气阀的动作过程是：