[发明专利]用于CVD或PVD装置的由固体或液体原料产生蒸汽的设备

权利要求书

1.一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，所述设备具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体(12)中的、具有传热面的传热体，所述传热体包括上游的传热体和下游的传热体，使得运载气体能够从上游的传热体流出并流入下游的传热体，并且所述设备具有输入管，用于将气溶胶输入至所述传热体中的一个，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化，其中，所述传热体中的至少一个具有开口，输入管插入所述开口中，其特征在于，所述传热体能够被加热至彼此不同的温度，其中，沿流动方向位于上游的第一个传热体是用于运载气体的预热体，运载气体输入管路(11)位于该上游的传热体的上游，所述运载气体通过所述运载气体输入管路(11)能够输入到所述壳体(12)中，所述传热体在所述壳体(12)中沿流动方向依次布置，从而使运载气体穿流过所有传热体，并且要么所述输入管被导引穿过至少一个传热体的开口并且通向上游的传热体与下游的传热体之间的间隙(9、10)，要么所述输入管的通口布置在至少一个传热体中。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述开口配属于上游的传热体，并且所述输入管的通口沿流动方向布置在下游的传热体的前面或布置在下游的传热体中。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述传热体由微孔开放的固体泡沫构成，所述固体泡沫具有每英寸100至500孔的孔隙率，其中，所有开放的面积占固体泡沫的表面积的比例大于90％。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传热体是导电的并且具有电接触件(20、21)，以便为了将每个传热体加热至传热温度而导通电流。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传热体能被这样加热，从而使下游的传热体的传热温度高于上游的传热体的传热温度。

6.一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，所述设备具有至少两个具有传热面的传热体，每个传热体分别能够被加热至传热温度，所述传热体包括上游的传热体和下游的传热体，使得运载气体能够从上游的传热体流出并流入下游的传热体，运载气体输入管路(11)位于上游的传热体的上游，用于将运载气体输入到包含传热体的壳体(12)中，并且所述设备还具有输入管，用于将气溶胶导入所述传热体中，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化，其中，所述运载气体输入管路(11)和所述输入管是不同的管道，其特征在于，所述输入管具有器件，以便使沿流动方向(S)穿过所述输入管的气溶胶流体扩散地从输入管的通口排出。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述输入管具有用于将气溶胶输入壳体(12)的第一流动通道(23)和用于附加地将运载气体输入壳体(12)的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口，运载气体能通过所述气体贯穿口从所述第二流动通道(24)流向所述第一流动通道(23)，并且其中规定，所述第二流动通道(24)在所述输入管的通口的区域中是封闭的。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，第一气体贯穿口相对于气溶胶的流动方向(S)以一定角度通向第一流动通道(23)，从而使流经第一气体贯穿口的运载气体流在所述第一流动通道(23)中形成湍流，其中规定，所述第二流动通道(24)包围所述第一流动通道(23)。

9.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，第二气体贯穿口相对于气溶胶的流动方向以一定角度布置在所述第一流动通道(23)中，从而使流经第二气体贯穿口的运载气体流在所述通口的区域中形成绕着沿流动方向(S)定向的轴线的涡流。

10.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，构成所述第一流动通道(23)的管件(33)在所述通口的区域中具有旋转对称的拓宽部(27)。

11.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，输入管的在至少一个传热体的开口中延伸的区段被绝缘套管(28)包围。