[发明专利]一种氦气检测系统双样件防误判校准方法以及装置

权利要求书

1.一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：在对氦气检测系统进行校准前先利用泄漏样件(4)判定氦气检测系统中的氦气充气装置能够工作。

2.如权利要求1所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：所述泄漏样件(4)可拆卸地连接于所述氦气检测系统的真空箱内，并与所述氦气检测系统的氦气充气装置相连。

3.如权利要求1所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：利用泄漏样件(4)判定氦气检测系统中的氦气充气装置能够工作的步骤包括：将泄漏样件(4)安装连接于所述氦气检测系统的真空箱内后，利用氦气充气装置向泄漏样件(4)内充入氦气，然后利用所述氦气检测系统的氦质谱检测仪检测是否有氦气泄漏；如果氦质谱检测仪在每次校准时均测量出氦气泄漏，则氦气充气装置校准合格。

4.如权利要求3所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：利用泄漏样件(4)判定氦气检测系统中的氦气充气装置能够工作的校准步骤重复5-10次。

5.如权利要求1所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：当确认氦气充气装置能够正常释放氦气后，利用密封样件(1)对氦气检测系统进行校准。

6.如权利要求5所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：所述密封样件(1)可拆卸地连接于所述氦气检测系统的真空箱内，并与所述氦气检测系统的氦气充气装置相连。

7.如权利要求6所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：利用密封样件(1)对氦气检测系统进行校准的步骤包括：密封样件校准、大值标准流量头校准和小值标准流量头校准。

8.如权利要求7所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：密封样件、大值标准流量头和小值标准流量头三者的校准测量步骤重复5-10次。

9.如权利要求7所述的一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其特征在于：当密封样件、大值标准流量头和小值标准流量头三者的校准测量结果均在给定的评判范围内时，所述氦气检测系统校准合格。

10.一种氦气检测双样件防误判校准装置，包括氦气供应装置，充气装置，真空箱，真空泵，氦质谱检测仪，大值标准流量头和小值标准流量头；所述真空箱一端与所述真空泵连接，另一端连接有所述氦质谱检测仪；所述真空箱内可拆卸的连接有密封样件；所述充气装置的输入端与所述氦气供应装置连接；所述充气装置的输出端与所述密封样件连接；所述大值标准流量头和所述小值标准流量头的输入端与所述氦气供应装置的输出端连接；所述大值标准流量头和所述小值标准流量头的输出端与所述真空箱连接，其特征在于：所述密封样件可替换为泄漏样件。