[发明专利]基于微纳尺度材料光机电系统的超高灵敏度振动传感器

权利要求书

1.一种振动传感器，其包括：

光路系统，其用于产生检测光束(115)；

感振阵列，其包括基座(120)和设置在基座(120)上的用于感应振动状态的感振片(130)，其中感振片(130)构造成用于接收检测光束(115)并形成反射光束(116)；

采集单元(140)，其用于采集反射光束(116)的位置信息从而生成偏移信号；以及

处理单元，其用于接收偏移信号，从而根据反射光束(116)的位置信息解析出所述振动状态。

2.根据权利要求1中所述的一种振动传感器，其特征在于：感振片(130)采用微纳尺度材料构成。

3.根据权利要求1或2中所述的一种振动传感器，其特征在于：感振片(130)构造成长度为微米或纳米级别的棒状或片状。

4.根据权利要求3中所述的一种振动传感器，其特征在于：感振片(130)的长度不低于20nm，感振片(130)的长径比或长宽比构造成不低于10:1。

5.根据权利要求1中所述的一种振动传感器，其特征在于：基座(120)上构造有凸台(121)，任意相邻的凸台(121)间构造成凹槽(122)，感振片(130)构造成一端或两端固定设置在凸台(121)上并部分悬空于凹槽(122)上方。

6.根据权利要求5中所述的一种振动传感器，其特征在于：光路系统包括光源(111)和反射镜(114)，光源(111)用于提供能量稳定的点光源、线光源或面光源，反射镜(114)用于反射光源(111)从而形成检测光束(115)。

7.根据权利要求6中所述的一种振动传感器，其特征在于：光源(111)和反射镜(114)间设有光栅(113)。

8.根据权利要求7中所述的一种振动传感器，其特征在于：光源(111)和光栅(113)间设有透镜(112)。

9.根据权利要求1中所述的一种振动传感器，其特征在于：采集单元(140)采用光电式位移传感器。

10.根据权利要求1中所述的一种振动传感器，其特征在于：检测光束(115)为波长是紫外波到红外光波段中的单色光或复色光。