[发明专利]一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置有效
| 申请号： | 201510389565.8 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN104977101B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李国;苏星;王波;张鹏;丁飞 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 psd 十字 二维 测量 装置 | ||
1.一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置，其特征在于它包括测量杆（1）、方框形测量杆支架（2）、十字梁（3）、四块反光镜（4）、四分半导体激光器（5）、基座（6）、四个二维PSD位置传感器（7）；
测量杆（1）的上部外圆面上开有用于与被测游丝（8）卡接的环槽（1-1）；测量杆（1）的下端与十字梁（3）中心上端面垂直连接，十字梁（3）设置在方框形测量杆支架（2）的内部，使十字梁（3）的四根粱的外端头分别与方框形测量杆支架（2）的四个角连接，四块反光镜（4）分别设置在十字梁（3）的四根梁的下端面上，四块反光镜（4）的反光面都朝下；四分半导体激光器（5）设置在基座（6）中心立柱的上端面上，四个二维PSD位置传感器（7）分别设置在基座（6）的四个角上的四根立柱的上端面上；方框形测量杆支架（2）设置在基座（6）的正上方上，使四分半导体激光器（5）发射的四束激光束分别通过四块反光镜（4）反射后，分别反射到四个二维PSD位置传感器（7）的检测窗口上。
2.根据权利要求1所述的一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置，其特征在于所述十字梁（3）的四根粱的上下方向的刚度约为0.1N/μm。
3.根据权利要求1所述的一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置，其特征在于所述四分半导体激光器（5）由波长为650nm，光斑直径小于600μm的半导体激光器与一个一分四分光路器组成。
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