[发明专利]曝光治具及其工作过程有效
申请号: | 201510390641.7 | 申请日: | 2015-07-07 |
公开(公告)号: | CN104932208B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 郭新建 | 申请(专利权)人: | 仓和精密制造(苏州)有限公司;仓和股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 及其 工作 过程 | ||
1.曝光治具,其特征在于,包括:
平置底板,
开设于底板中心、形状与平置矩形菲林贴合、用于放置平置菲林的矩形放置框,
固定于矩形放置框内、与矩形放置框贴合、用于承载平置菲林的平置透光板,
用于将平置矩形版模与矩形放置框对位的对位装置,
以及用于将版模与菲林压合的压合装置;
所述平置透光板的顶面低于底板顶面,且透光板顶面与底板顶面的间距小于平置菲林的厚度;
所述对位装置包括:与矩形放置框四个边线一一对应的四个推动机构,以及驱动推动机构工作的驱动机构;
单个推动机构位于对应放置框边线的外侧;且每个推动机构都设有:两个相互平行、带外螺纹、用于推动平置版模的平置推动杆,以及一个用于支承推动杆、与推动杆螺纹连接的支座;单个推动机构的两个推动杆都垂直于该单个推动机构所对应的放置框边线;分设于四个推动机构上的各推动杆,它们与对应放置框边线的间距相同;且分设于四个推动机构上的各推动杆,它们的外螺纹相同;
所述驱动机构包括:以矩形放置框中心为圆心、用于驱动推动杆沿自身轴线方向伸缩的平置圆环形齿盘,以及驱动圆环形齿盘围绕上述圆心旋转的第一驱动装置;所述圆环形齿盘,其上表面设有用于驱动推动杆绕自身轴线旋转的驱动齿;且该驱动齿与推动杆的外螺纹齿合;
所述压合装置包括:位于放置框正上方、用于下压版模的若干相互平行的平置压杆,固定于压杆底部、沿压杆长度方向均布、长度相同的若干竖置压头,用于支承压杆的平置下压框,以及用于驱动下压框竖直升降的第二驱动装置;
所述压杆垂直于放置框的一边线,且各压杆沿该放置框的边线方向均布;单个压杆,其两端分别与下压框底面固定,其中部下凸于两端。
2.根据权利要求1所述的曝光治具,其特征在于,所述支座固定于平置底板的顶面。
3.根据权利要求2所述的曝光治具,其特征在于,所述平置底板上设有用于放置圆环形齿盘的圆环形凹槽,所述圆环形齿盘置于所述圆环形凹槽内。
4.根据权利要求3所述的曝光治具,其特征在于,所述第一驱动装置包括与圆环形齿盘轴接的气缸;所述圆环形齿盘,其外边沿延伸有用于与气缸活塞杆轴接的连接部。
5.根据权利要求4所述的曝光治具,其特征在于,还包括设于透光板下方的曝光光源。
6.权利要求1-5中任一项所述曝光治具的工作过程,其特征在于,包括如下步骤:
将矩形菲林平铺于矩形放置框内平置透光板的上表面,矩形菲林的边线与矩形放置框的边线贴合,矩形菲林的中心与矩形放置框的中心位于同一竖直线内,完成菲林的定位放置;
将版模平置于四个推动机构间的底板顶面;
第一驱动装置驱动平置圆环形齿盘旋转,进而带动四个推动机构的推动杆伸出,四个推动机构的推动杆接触并推动平置版模,逐渐将平置矩形版模与矩形放置框对位,矩形版模的四边分别与矩形放置框的四边对应平行,矩形版模的中心与矩形放置框的中心位于同一竖直线内,也即完成平置矩形版模与平置矩形菲林的对位,矩形版模的四边分别与矩形菲林的四边对应平行,矩形版模的中心与矩形菲林的中心位于同一竖直线内;
第二驱动装置驱动下压框竖直下降,带动压杆下降;由于单个压杆的中部下凸于两端,故位于单个压杆中部的竖置压头先接触和下压平置版模,位于单个压杆两端的竖置压头后接触和下压平置版模;使版模与菲林从中部向边沿逐步压合,最终使版模与菲林紧密贴靠,也即完成版模与菲林间从中部向边沿逐步排气,最终去除版模与菲林间的空气。
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