[发明专利]工业用机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种工业用机器人，该工业用机器人具有以能够转动的方式连接两个臂部的基端侧的共用臂部。

背景技术

以往公知一种搬运半导体晶圆的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有：第一手部以及第二手部，所述第一手部以及第二手部装载半导体晶圆；第一臂部，第一手部以能够转动的方式与所述第一臂部的末端侧连接；第二臂部，第二手部以能够转动的方式与所述第二臂部的末端侧连接；共用臂部，所述共用臂部供第一臂部的基端侧以及第二臂部的基端侧以能够转动的方式连接；以及本体部，所述本体部供共用臂部以能够转动的方式连接。并且，该工业用机器人具有：第一转动机构，所述第一转动机构使第一手部相对于第一臂部转动，并使第一臂部相对于共用臂部转动；以及第二转动机构，所述第二转动机构使第二手部相对于第二臂部转动，并使第二臂部相对于共用臂部转动。

第一转动机构具有：实心旋转轴，所述实心旋转轴构成本体部的一部分；马达，所述马达使实心旋转轴转动；第一带轮，所述第一带轮配置在共用臂部的内部且固定于实心旋转轴的上端侧；第一固定轴，所述第一固定轴固定于共用臂部；第二带轮，所述第二带轮被第一固定轴保持为能够转动且配置于共用臂部的内部、固定于第一臂部的基端侧；带，所述带被第一带轮和第二带轮架设；第三带轮，所述第三带轮固定于第一固定轴的上端侧且配置在第一臂部的内部；第二固定轴，所述第二固定轴固定于第一臂部的末端侧；第四带轮，所述第四带轮被第二固定轴保持为能够转动且配置于第一臂部的内部、固定于第一手部；以及带，所述带被第三带轮和第四带轮架设。

同样，第二转动机构具有：中空旋转轴，所述中空旋转轴构成本体部的一部分；马达，所述马达使中空旋转轴转动；第五带轮，所述第五带轮配置在共用臂部的内部且固定于中空旋转轴的上端侧；第三固定轴，所述第三固定轴固定于共用臂部；第六带轮，所述第六带轮被第三固定轴保持为能够转动且配置于共用臂部的内部、固定于第二臂部的基端侧；带，所述带被第五带轮和第六带轮架设；第七带轮，所述第七带轮固定于第二固定轴的上端侧且配置于第二臂部的内部；第四固定轴，所述第四固定轴固定于第二臂部的末端侧；第八带轮，所述第八带轮被第四固定轴保持为能够转动且配置于第二臂部的内部、固定于第二手部；以及带，所述带被第七带轮和第八带轮架设。

专利文献1：国际公开第2009/028178号

在专利文献1所记载的工业用机器人中，由于固定于第一臂部的基端侧的第二带轮被固定于共用臂部的第一固定轴保持为能够转动，因此在组装完工业用机器人后，能够通过调整共用臂部相对于水平方向的倾斜度，来调整第一臂部相对于水平方向的倾斜度。并且，在该工业用机器人中，由于固定于第二臂部的基端侧的第六带轮被固定于共用臂部的第三固定轴保持为能够转动，因此在组装完工业用机器人后，能够通过调整共用臂部相对于水平方向的倾斜度，来调整第二臂部相对于水平方向的倾斜度。

但是，在该工业用机器人中，由于第一固定轴以及第三固定轴固定于共用臂部，因此如果调整第一臂部相对于水平方向的倾斜度，则第二臂部相对于水平方向的倾斜度改变，如果调整第二臂部相对于水平方向的倾斜度，则第一臂部相对于水平方向的倾斜度改变。也就是说，在该工业用机器人中，难以在组装完工业用机器人后，对第一臂部相对于水平方向的倾斜度以及第二臂部相对于水平方向的倾斜度进行单独调整。

发明内容

因此，本发明的课题提供以下这种工业用机器人：该工业用机器人具有以能够转动的方式连接第一臂部的基端侧以及第二臂部的基端侧的共用臂部，即使在组装完工业用机器人后，也能够容易地对第一臂部相对于水平方向的倾斜度以及第二臂部相对于水平方向的倾斜度进行单独调整。

为了解决上述课题，本发明的工业用机器人的特征在于，该工业用机器人具有：第一手部以及第二手部，所述第一手部以及所述第二手部装载搬运对象物；第一臂部，第一手部以能够转动的方式与所述第一臂部的末端侧连接；第二臂部，第二手部以能够转动的方式与所述第二臂部的末端侧连接；共用臂部，所述共用臂部供第一臂部的基端侧以及第二臂部的基端侧以能够转动的方式连接；以及本体部，所述本体部供共用臂部以能够转动的方式连接，共用臂部具有：基底部，所述基底部与所述本体部连接；第一臂部连接部，所述第一臂部连接部供所述第一臂部的基端侧连接；以及第二臂部连接部，所述第二臂部连接部供所述第二臂部的基端侧连接，基底部、第一臂部连接部以及第二臂部连接部分体形成，第一臂部连接部以及第二臂部连接部以能够拆装的方式固定于基底部。