[发明专利]模拟干涉式调制器

说明书

本申请是申请日为2010年6月7日，申请号为“201080026843.9”，而发明名称为“模拟干涉式调制器”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于模拟干涉式调制器的驱动方案及校准方法。

背景技术

微机电系统(MEMS)包括微机械元件、致动器及电子装置。可使用沉积、蚀刻，及/或蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的多个部分或者添加层以形成电装置及机电装置的其它微机械加工工艺来产生微机械组件。一类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。如本文中所使用，术语“干涉式调制器”或“干涉光调制器”指代使用光学干涉原理以光谱选择性方式吸收及/或反射光的装置。

发明内容

在某些实施例中，干涉式调制器可包含一对导电板，所述对导电板中的一者或两者可完全或部分为透明及/或反射性的，且能够在施加适当电信号后即进行相对运动。在一特定实施例中，一个板可包含沉积于衬底上的固定层，且另一板可包含通过气隙而与所述固定层分离的金属膜。如本文中更详细描述，一个板相对于另一板的位置可改变入射于干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广泛范围的应用，且在此项技术中利用及/或修改这些类型的装置的特性以使得其特征可在改进现有产品及产生尚未开发的新产品时被采用将为有益的。

附图说明

图1为描绘一干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于致动位置。

图2为说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3为图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动反射镜位置对所施加电压的图式。

图4为可用以驱动干涉式调制器显示器的一组行电压及列电压的说明。

图5A及图5B说明可用以将显示数据的帧写入到图2的3×3干涉式调制器显示器的行信号及列信号的一个示范性时序图。

图6A及图6B为说明包含多个干涉式调制器的视觉显示装置的实施例的系统框图。

图7A为图1的装置的横截面。

图7B为干涉式调制器的一替代实施例的横截面。

图7C为干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。

图7D为干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。

图7E为干涉式调制器的一额外替代实施例的横截面。

图8为具有三个层的干涉式调制器的实施例的横截面，其中可移动中间层处于松弛位置。

图9为具有安置于第一层上的电阻性元件的图8的实施例的干涉式调制器的横截面。

图10为具有控制电路的图8的实施例的干涉式调制器的横截面。

图11为说明不同致动位置的图8的实施例的干涉式调制器的横截面。

图12为经设计以补偿寄生电容的图8的实施例的干涉式调制器的说明。

图13为校准图9的实施例的干涉式调制器的过程的实施例的流程图。

图14A到图14E说明校准过程的实施例的各个阶段中的图9的实施例的干涉式调制器。

具体实施方式

以下实施方式是针对某些具体实施例。然而，可以众多不同方式来应用本文中的教示。在此描述中，参看图式，其中相似部分始终用相似数字来指明。可在经配置以显示图像(无论是运动图像(例如，视频)还是静止图像(例如，静态图像)，且无论是文字图像还是图片图像)的任何装置中实施所述实施例。更特定来说，预期所述实施例可实施于例如(但不限于)以下各者的多种电子装置中或与所述电子装置相关联：移动电话、无线装置、个人数据助理(PDA)、手持式或便携式计算机、GPS接收器/导航器、相机、MP3播放器、摄录机、游戏控制台、腕表、时钟、计算器、电视监视器、平板显示器、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等)、驾驶舱控制及/或显示器、相机视野显示器(例如，车辆中的后视相机的显示器)、电子照片、电子广告牌或标志、投影仪、建筑结构、封装及美学结构(例如，一件珠宝上的图像显示)。与本文中所描述的MEMS装置结构类似的MEMS装置还可用于例如电子开关装置等非显示应用中。

在本文中描述与模拟干涉式调制器有关的方法及装置。可将模拟干涉式调制器驱动到各自具有不同光学性质的若干不同状态。具体来说，描述用于校准并控制模拟干涉式调制器的致动以实现各种状态的方法及装置。