[发明专利]一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统

权利要求书

1.一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统，包括：

电流回路，待检测的半导体器件连接在所述电流回路中；

脉冲激光器，用于向待检测的半导体器件周期性地施加激光脉冲，以在所述半导体器件处形成光生电荷；其中，所述光生电荷在所述电流回路中传输以形成瞬态光生电流，并且所述脉冲激光器能够提供不同波长的激光脉冲；

设置在所述电流回路中并与所述半导体器件串联的采样电阻；

与所述采样电阻并联的电压信号采集器，用于采集所述采样电阻的两端的电压差信号；

与所述半导体器件并联的电压源，用于向所述半导体器件提供周期性变化的调制电压；和

与所述电压源串联的电流隔离器，用于阻止所述瞬态光生电流或所述瞬态光生电流的高频部分流经所述电压源。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电流隔离器包括电感。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电压信号采集器包括示波器。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电压源为能够产生多种不同形式的调制电压的电压信号发生器。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述脉冲激光器包括多个能够产生不同波长的激光脉冲的激光器，或者所述脉冲激光器为能够产生多个不同波长的激光脉冲的单个激光器。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光器与所述半导体器件之间的滤光片，用于调节所述半导体器件接收到的所述激光脉冲的强度。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括用于容纳所述半导体器件的样品室，用于为所述半导体器件提供预定的温度环境、气氛环境和/或电磁屏蔽。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括用于向所述半导体器件提供背景光的偏置光源。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述偏置光源和所述脉冲激光器布置成使得所述背景光与所述激光脉冲沿不同的角度入射至所述半导体器件。

10.根据权利要求1-9任一项所述的系统，其特征在于，所述半导体器件为太阳能电池。