[发明专利]一种搬送机械手和激光退火装置

权利要求书

1.一种搬送机械手，包括支撑结构；其特征在于，还包括：

用于使待搬送物体中的半导体材料中产生自由电子的自由电子激发装置；

用于检测待搬送物体中与支撑结构的支撑面相对设置的表面的材料能否导电的检测装置；

所述待搬送物体的一侧表面为绝缘不导电材料、另一侧表面为在自由电子激发装置的激发下可以产生自由电子从而进行导电的材料。

2.根据权利要求1所述的搬送机械手，其特征在于，所述自由电子激发装置为热激发装置、光激发装置或者电磁场激发装置。

3.根据权利要求2所述的搬送机械手，其特征在于，所述电磁场激发装置包括嵌设在所述支撑结构内的电磁铁。

4.根据权利要求3所述的搬送机械手，其特征在于，所述电磁场激发装置还包括与所述电磁铁中线圈的两端电连接、用于给线圈通电的供电装置。

5.根据权利要求1所述的搬送机械手，其特征在于，所述检测装置包括：

安装于所述支撑结构的支撑面上、用于与待搬送物体的表面相接触的两个电极；

与所述两个电极串联、用于提供电压的电压源；

与所述两个电极串联、用于检测两个电极之间是否产生电流的电流检测模块。

6.根据权利要求5所述的搬送机械手，其特征在于，所述两个电极为条形电极，且分别沿电磁铁所在区域的两侧边缘延伸。

7.根据权利要求1～6任一项所述的搬送机械手，其特征在于，所述支撑结构的支撑面上设有多个用于吸附所述待搬送物体表面的气垫结构。

8.根据权利要求7所述的搬送机械手，其特征在于，所述支撑结构包括两个支撑臂，每个所述支撑臂上设有两个气垫结构，所述自由电子激发装置和检测装置安装于同一个支撑臂上。

9.一种激光退火装置，包括基板载台和用于提供准分子激光束的准分子激光器；其特征在于，还包括如权利要求1～8任一项所述的搬送机械手。