[发明专利]一种冷冻盐水复合缓蚀剂

权利要求书

1.一种冷冻盐水复合缓蚀剂，其特征在于，其配料重量百分比组成为：

    二乙基二硫代氨基甲酸钠      15~30%

    六偏磷酸钠      3~6%

    硫酸锌      1.5~3%

高分子量聚马来酸酐      5~10%

    余量的水 。

2.根据权利要求1所述的一种冷冻盐水复合缓蚀剂，其特征在于，其配料重量百分比组成为：

    二乙基二硫代氨基甲酸钠      25~30%

    六偏磷酸钠      5~6%

    硫酸锌      2.5~3%

高分子量聚马来酸酐      6~8%

    余量的水  。

3.根据权利要求1所述的一种冷冻盐水复合缓蚀剂，其特征在于，所述高分子量聚马来酸酐的分子量大于5500。

4.根据权利要求1所述的一种冷冻盐水复合缓蚀剂，其特征在于，其制备方法的步骤为：

（1）将二乙基二硫代氨基甲酸钠、六偏磷酸钠、硫酸锌和水加入反应釜中常温搅拌20~30分钟，使配料充分溶解；

（2）再在反应釜中加入水溶性铜缓蚀剂搅拌10分钟；

（3）最后在反应釜中加入高分子量聚马来酸酐搅拌20~30分钟，搅拌均匀后即得产品。