[发明专利]一种半导体性单壁碳纳米管的制备方法有效
申请号: | 201510395922.1 | 申请日: | 2015-07-07 |
公开(公告)号: | CN104944412A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 潘春旭;罗成志;廖蕾;万达 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02;B82Y40/00 |
代理公司: | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 张火春 |
地址: | 430072 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 性单壁碳 纳米 制备 方法 | ||
1.一种半导体性单壁碳纳米管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将催化剂二茂铁置于CVD炉石英管内上游区,基底置于石英管内下游区,然后封闭石英管,通入氮气或惰性气体以排尽石英管内的空气;
(2)将石英管加热至400-1500℃,开启磁场,从上游区通入高纯度气体碳源反应5-300min,反应结束后先关闭气体碳源,再关闭磁场,然后将石英管自然降温至室温,即得到半导体性单壁碳纳米管。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(1)中所述的基底为铜微栅、石英片、表面有100nm SiO2的硅片、铜微栅、有机物或玻璃。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(1)中通入氮气或惰性气体的速度为10-1000sccm。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中的加热速率为5-100℃/s。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中所述的气体碳源为C2H2、CH4、C2H4或气态乙醇。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中所述的磁场由永磁铁或电磁铁提供。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中的磁场强度为0.01-80T。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中通入气体碳源的速度为2-1000sccm。
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