[发明专利]一种离子栅门及其制作方法有效
申请号: | 201510398622.9 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN105023824B | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 沈国乃;王慧敏;李玉江;郝中原;张勇;陈长贵;张卫东 | 申请(专利权)人: | 北京市北分仪器技术有限责任公司 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J9/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100095 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 栅门 及其 制作方法 | ||
1.一种离子栅门的制作方法,离子栅门,包括:绝缘圆环支架、以及固定在所述绝缘圆环支架的侧面上的网栅电极;
所述网栅电极包括:第一电极、第二电极、多个第一网栅丝条和多个第二网栅丝条,所述第一网栅丝条与所述第二网栅丝条间隔平行设置,所述第一网栅丝条的一端固定在所述第一电极上,另一端悬空且与所述第二电极的距离为预设第一距离;所述第二网栅丝条的一端固定在所述第二电极上,另一端悬空且与所述第一电极的距离为预设第二距离,其特征在于,包括:
将待加工网栅电极固定在绝缘圆环支架的侧面上;
对所述待加工网栅电极中与第二电极相连的多个第一网栅丝条进行切断处理;
对所述待加工网栅电极中与第一电极相连的多个第二网栅丝条进行切断处理,得到离子栅门;
其中,所述待加工网栅电极包括第一电极和第二电极,以及间隔平行设置且两端分别固定在所述第一电极和所述第二电极上的待加工的第一网栅丝条和待加工的第二网栅丝条。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将待加工网栅电极固定在绝缘圆环支架的侧面上,包括:
定位所述待加工网栅电极;
通过工装将定位后的所述待加工网栅电极压紧在所述绝缘圆环支架上;
通过粘接剂将所述待加工网栅电极固定在绝缘圆环支架的侧面上。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一电极和所述第二电极为弧形,所述第一电极上设置有第一电极引出孔,所述第二电极上设置有第二电极引出孔。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一网栅丝条为多根,且位于所述第一电极最外侧的第一网栅丝条最短;所述第二网栅丝条为多根,且位于所述第二电极最外侧的第二网栅丝条最短。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述网栅电极的厚度为0.1-0.15mm。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述绝缘圆环支架的内径为15-25mm。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述第一电极与所述第二电极的最短距离大于所述绝缘圆环支架的内径,且所述网栅电极的中心与所述绝缘圆环支架的中心相对应。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一网栅丝条和所述第二网栅丝条的宽度均为0.08-0.12mm,所述第一网栅丝条和所述第二网栅丝条的中心距为0.8-1.2mm。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述绝缘圆环支架的材质为陶瓷。
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