[发明专利]一种上下分布式双工件台装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种工件台装置，特别是一种具有两相互独立工作的工件台的装置。

背景技术

定位平台是PCB直接成像设备必须配置的零部件，用于吸附固定PCB板，初步定位PCB板的位置，保证在LDI光刻过程中PCB能随工件台的移动到达正确的位置及以正确的路线和速度移动。由于PCB板的表面需要涂覆感光膜，所以PCB板的定位固定方式多用吸附式。在现代工业生产中，对效率的追求是无止境的。双工件台装置可以有效的提升LDI曝光机的效率，在上工作台完成收板和放板，以及对准的工作，在下工作台完成曝光的工作。相当于一台设备完成两台设备的工作量。由于上下两个工作台是互不干涉的，所以工作可以并行进行。另外在PCB板的曝光设备上，扫描轴平台的YAW值对曝光的质量影响特别大。扫描轴的中心与曝光点越接近，扫描轴平台的yaw值的影响会降到最低。上下结构排布的双工件，正是为了降到不同轴的YAW值影响而进行的优化结构。目前PCB直接成像设备使用的工件台基本上以单工件台为主，也有双工件台的。但是，目前的双工件台就是两个工件台的叠加，两个工件台平行放置。人机交互就是两个工位，没有上下的交换。虽然对效率也有一定的提升，但不能算是真正的双工件台。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种上下分布式双工件台装置，其包括基座，所述基座上设有一凸台，所述凸台上设有一第一水平导轨与一支撑架，所述支撑架上设有第二水平导轨，所述第二水平导轨平行并位于所述第一水平导轨上端；

所述第一水平导轨、第二水平导轨分别连接有第一水平滑座、第二水平滑座，所述第一水平滑座、第二水平滑座分别沿所述两水平导轨分别具有一相同的水平滑动行程；

所述第一水平滑座、第二水平滑座分别固定连接有一第一L形支架、第二L形支架，所述两L形支架分别具有一水平杆与竖向杆，所述两水平杆与基座平行并分别连接在两水平滑座上，所述两竖向杆位于两侧并向上设置；所述第一L形支架、第二L形支架的竖向杆分别连接有竖向导轨，所述两竖向导轨上分别设有竖向滑座，所述两竖向滑座分别连接有支撑台，所述两支撑台上分别设有工作台；

与第一水平滑座连接的为第一工作台，与第二水平滑座连接的为第二工作台，所述两工作台分别与所述基座平行，所述两工作台之间具有一平行间距，所述两工作台可分别平行移动至对方所在的平面。

较佳地，所述两工作台上分别设有工作吸盘。

较佳地，所述第二水平导轨位于所述第一水平导轨的正上方。

较佳地，第一水平滑座、第二水平滑座分别位于水平滑动行程的第一端点/第二端点、第二端点/第一端点；所述第一水平滑座位于第一端点时，所述第二水平滑座位于第二端点，所述第一工作台位于所述第二工作台上端，所述第一工作台所在区域为PCB装卸区域，所述第二工作台所在区域为PCB曝光区域；所述第一工作台与第二工作台可通过水平位移与竖直位移完成位置互换。

较佳地，所述两水平滑座分别设有水平驱动装置，所述水平驱动装置用于驱动水平滑座在水平导轨上移动，所述两竖向滑座分别设有竖向驱动装置，所述竖向驱动装置用于驱动竖向滑座在竖直方向上位移。

本发明还提供了一种上下分布式双工件台装置的工作方法，包括以下步骤：

S1：分别将第一水平滑座、第二水平滑座在各自水平导轨上移动至第一端点与第二端点；将所述第一工作台移动至上端面，将第二工作台移动至下端面；

S2：将一待曝光PCB板放置在所述第一工作台上，将所述第一工作台与第二工作台所在平面位置调换，并将所述第一水平滑座滑动至所述第二端点，将所述第二水平滑座滑动至所述第一端点；

S3：开启曝光装置对所述第一工作台上的PCB板进行曝光，同时在所述第二工作台上放置PCB板；

S4：曝光结束后，调换所述第一工作台与第二工作台所在平面，同时分别将第一水平滑座、第二水平滑座在各自水平导轨上移动至第一端点、第二端点；

S5：将所述第一工作台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板，同时开启曝光装置对第二工作台上的PCB板曝光；

S6：曝光结束后，调换所述第一工作台与第二工作台所在平面，同时分别将第一水平滑座、第二水平滑座在各自水平导轨上移动至第二端点、第一端点；

S7：将所述第二工作台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板，同时开启曝光装置对第一工作台上的PCB板曝光；

S8：继续执行步骤S4至S7直至完成所有PCB板的曝光处理。

本发明具有以下有益效果：