[发明专利]光学元件缺陷激光近场调制检测装置及诱导损伤预测方法

说明书

技术领域

本发明属于光学元件检测领域，特别是光学元件缺陷激光近场调制检测装置及诱导损伤预测方法。它具有成本低、检测速度快、检测图像实时存储、检测结果实时判断等特点。

背景技术

光学元件在生产和使用过程中会存在各种缺陷，例如颗粒污染物、气泡、划痕等，其中一些缺陷调制激光光束的振幅、位相后，激光光束的局部区域会形成高光强调制。在高功率固体激光装置中，激光运行通量接近于元件损伤阈值，这些局部的高光强调制不仅严重破坏光束均匀性，而且极可能诱导元件损伤，因此为了避免缺陷诱导光学元件损伤，需要在光学元件使用前预测其所含缺陷是否会引起高强度调制。

现有的缺陷检测，一般都是通过对光学元件的缺陷进行成像，从而对缺陷的尺寸、数量等进行标定，但并没有针对缺陷调制光束近场的检测。虽然光学元件存在的缺陷数量很多，但大部分缺陷不会对光束局部造成很高的光强调制，并不影响光学元件的使用。若要判断光学元件能否在高功率激光装置中安全使用，需要结合缺陷对激光近场的调制幅度，来预测该光学元件缺陷在高功率激光作用下是否容易诱导损伤。因此，现有的技术需要进一步发展和提高。

发明内容

本发明针对现有技术存在的不足，提出一种光学元件缺陷激光近场调制的检测装置及诱导损伤预测方法。该装置用于检测低功率激光经光学元件缺陷后的近场衍射效应，获得加入待测元件时所测光强相对未加待测元件时所测光强的光强调制倍数，通过光强调制倍数可以预测在高功率激光作用下这些缺陷是否容易引起元件损伤。该装置具有成本低、检测速度快、检测图像实时存储、检测结果实时判断等特点。

本发明的技术解决方案如下：

一种光学元件缺陷激光近场调制检测装置，其特点在于由光纤激光器、光衰减器、光分束器、光纤准直器、第一电动平移台、电动升降台、缩束系统、面阵CCD、第二电动平移台和计算机构成，沿所述的光纤激光器的输出光束方向依次是所述的光衰减器和光分束器，该光分束器将1束激光分成4束激光，该光分束器出射的4束激光通过光纤经所述的光纤准直器输出；所述的第一电动平移台和电动升降台构成二维平移台，供待测样品设置，所述的第二电动平移台上设置有2×2排布的4个缩束系统和2×2排布的4个面阵CCD，所述的2×2排布的4个面阵CCD一一对应地位于所述的2×2排布的4个缩束系统的像方焦点位置，所述的面阵CCD的输出端与所述的计算机的输入端相连，所述的计算机的输出端与所述的第一电动平移台、电动升降台和第二电动平移台的控制端相连。

所述的光纤激光器用于提供圆形光束；光衰减器用于对光功率进行衰减；光分束器用于将1束激光分成4束激光；光纤准直器用于将光纤内的传输光变为准直光；光纤用于在光纤激光器、光衰减器、光分束器、光纤准直器之间传导激光。

所述光纤激光器的输出端与所述光衰减器的输入端相连，光衰减器的输出端与所述光分束器的输入端相连，光分束器的4个输出端与所述4个光纤准直器相连，4个光纤准直器构成2×2排布并通过固定件安放于实验台上。

所述的待测光学元件样品固定在由第一电动平移台和电动升降台构成的二维平移台，通过移动所述第一电动平移台和电动升降台以实现元件整个面上的检测。

所述的计算机，用于控制所述第一电动平移台、电动升降台和第二电动平移台的运动方向、运动距离，所述4个光纤准直器出射光束的光轴互相平行并且一一对应与所述4个缩束系统的光轴、4个面阵CCD的采样窗口中心在一条直线上。

所述第二电动平移台的移动方向与所述4束激光的光轴平行，并且带动缩束系统向待测光学元件方向移动最大距离后，能使待测光学元件位于缩束系统的物方焦平面。

利用上述的光学元件缺陷激光近场调制检测装置对光学元件缺陷及诱导损伤的预测方法，其特征在于该方法包括步骤如下：

1)将待测光学元件放置到第一电动平移台上，开启装置后，光纤激光器输出1束激光依次经光衰减器、光分束器、光纤准直器后输出4束激光；

2)通过第一电动平移台和电动升降台带动待测光学元件移出上述4束激光入射位置，使4束激光一一对应入射4个缩束系统和面阵CCD，通过第二电动平移台带动缩束系统和面阵CCD同时移动，面阵CCD采集没有待测光学元件时的光束近场强度I₀(x,y,z)随传输距离的变化；