[发明专利]本安型超低露点样气处理系统

权利要求书

1.一种本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：包括除雾过滤器(1)、微雾分离器(2)、样气干燥器(3)以及减压器(4)，所述除雾过滤器(1)的样气出口(13)与所述微雾分离器(2)连通，该微雾分离器(2)的出气口与所述样气干燥器(3)连通，所述样气干燥器(3)的出气口与减压器(4)连接；

所述除雾过滤器(1)设置有外筒(15)和套接在外筒(15)内的除雾过滤芯(16)，所述外筒(15)和除雾过滤芯(16)的上端分别通过安装座(14)连接密封，所述外筒(15)和除雾过滤芯(16)的下端通过间隙空间隔离，所述外筒(15)与所述除雾过滤芯(16)之间的间隙空间形成气水分离腔(18)，在所述安装座(14)的上端设置有样气导入管(17)，该样气导入管(17)的下端穿过所述除雾过滤芯(16)的底部并伸入到所述气水分离腔(18)中，在所述安装座(14)的侧壁上还分别设置有反吹扫气入口(12)和样气出口(13)，所述反吹扫气入口(12)通过气道与所述气水分离腔(18)相通，所述样气出口(13)通过气道与所述除雾过滤芯(16)的内腔相通，在所述外筒(15)的底部还设置有冷凝液出口(19)。

2.根据权利要求1所述的本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：所述除雾过滤器(1)的样气入口(11)上连接有压力表(5)。

3.根据权利要求1所述的本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：所述样气干燥器(3)设置有露点显示器(9)和分流样气排出口(8)。

4.根据权利要求1所述的本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：所述减压器(4)连接有带针阀流量计(7)，该带针阀流量计(7)连接有气体分析仪(6)。

5.根据权利要求1所述的本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：所述外筒(15)与除雾过滤芯(16)均为圆筒状，且所述外筒(15)、除雾过滤芯(16)、样气导入管(17)以及冷凝液出口(19)四者同轴设置。

6.根据权利要求1所述的本安型超低露点样气处理系统，其特征在于：所述除雾过滤芯(16)为超微孔SiC过滤芯，其外表面具有纳米疏水特性。