[发明专利]一种缓蚀剂及制备方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂，其特征在于，包括：

油酸基咪唑啉，所述油酸基咪唑啉的质量含量为30～40份；

除氧剂，所述除氧剂的质量含量为5-10份；

硫氰酸盐，所述硫氰酸盐的质量含量为3-5份；

戊二醛，所述戊二醛的质量含量为10-15份；

水，所述水的质量含量为30～50份。

2.如权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，所述除氧剂为亚硫酸钠或联氨；和/或所述硫氰酸盐为硫氰酸钠或硫氰酸钾；和/或所述水为二次蒸馏水。

3.如权利要求2所述的缓蚀剂，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：35份；所述除氧剂质量含量为10份；所述硫氰酸盐质量含量为：5份；所述戊二醛质量含量为：10份；所述水的质量含量为：40份。

4.如权利要求2所述的缓蚀剂，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：37份；所述除氧剂质量含量为：10份；所述硫氰酸盐质量含量为：3份；所述戊二醛质量含量为：15份；所述水的质量含量为：35份。

5.如权利要求2所述的缓蚀剂，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：32份；所述除氧剂质量含量为：5份；所述硫氰酸盐质量含量为：3份；所述戊二醛质量含量为：10份；所述水的质量含量为：50份。

6.一种缓蚀剂制造方法，其特征在于，包括：

在搅拌罐中加入30～50份的水和3-5份的硫氰酸钠并进行搅拌；

在对所述水和所述硫氰酸钠搅拌结束之后，在所述搅拌罐中加入10-15份的戊二醛、5-10份除氧剂并进行搅拌；

在所述搅拌罐中加入30-40份油酸基咪唑啉。

7.如权利要求6所述的缓蚀剂制造方法，其特征在于，所述除氧剂为亚硫酸钠或联氨；和/或所述硫氰酸盐为硫氰酸钠或硫氰酸钾；和/或所述水为二次蒸馏水。

8.如权利要求7所述的缓蚀剂制造方法，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：35份；所述除氧剂质量含量为：10份；所述硫氰酸盐质量含量为：5份；所述戊二醛质量含量为：10份；所述水的质量含量为：40份。

9.如权利要求7所述的缓蚀剂制造方法，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：37份；所述除氧剂质量含量为：10份；所述硫氰酸盐质量含量为：3份；所述戊二醛质量含量为：15份；所述水的质量含量为：35份。

10.如权利要求7所述的缓蚀剂制造方法，其特征在于，所述油酸基咪唑啉的质量含量为：32份；所述除氧剂质量含量为:5份；所述硫氰酸盐质量含量为：3份；所述戊二醛质量含量为：10份；所述水的质量含量为：50份。