[发明专利]一种光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置有效
申请号: | 201510401844.1 | 申请日: | 2015-07-09 |
公开(公告)号: | CN104964762B | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 朱君;秦柳丽;宋树祥;傅得立 | 申请(专利权)人: | 广西师范大学 |
主分类号: | G01K11/32 | 分类号: | G01K11/32;G01K11/00 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人: | 刘梅芳 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光栅 结构 铌酸锂 表面 等离子 温度 传感 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置,其特征是,包括顺序叠接的底层玻璃层、第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层,第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层形成铌酸锂-金-铌酸锂介质波导结构,所述的铌酸锂-金-铌酸锂为对称的铌酸锂介质波导结构,所述铌酸锂介质波导结构的中间层金层为周期的光栅结构,所述的铌酸锂-金-铌酸锂的介质波导结构采用溶胶—凝胶工艺制备。
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