[发明专利]毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及飞秒激光微纳加工领域，特别涉及利用一种飞秒激光直写，在超硬的金刚石刀具刀刃上加工得到一系列微米级缺口。

背景技术

近年来，随着科学技术的日新月异，通讯、航空和航天等领域各项技术得到了飞速发展。相应地，其对材料性能及加工技术的要求也日益提高。各式各样的新型材料，如陶瓷、超硬玻璃材料(蓝宝石玻璃等)、碳纤维增强塑料及颗粒增强金属基复合材料，得到了广泛的应用。这些材料具有许多良好的特性：如耐磨性极好、强度高、热膨胀系数小等，因而，也决定了对它们进行加工时要求刀具质量非常高。金刚石刀具具有超高的硬度及高导热率等特性，它是一种理想的新型材料加工工具。然而，也正是由于金刚石刀具的这种超硬特性，使得对金刚石刀具本身的加工遭遇到了极大的挑战。

金刚石刀具在切削光滑物体时会产生“打滑”现象，严重影响切削质量。为了防止这种现象的产生，需要对金刚石刀具刃口进行特殊地再加工。目前主要的金刚石刀具刃口加工方法有传统的机械加工方法，真空等离子抛光法，离子溅蚀法等；尽管这些工艺能够得到刃口直线度很小(0.1～0.01微米)的金刚石刀具，但是随着刃口直线度的减小，加工难度和加工成本将大大提高，极大地制约了金刚石刀具的工业生产。另外，可以在金刚石刃口上加工周期性的微齿轮的结构，不仅能够有效地防止“打滑”现象地发生，而且相对于直线度较小的刀具其使用寿命得到了很大地提高。然而，上述的加工方法很难在刃口上加工得到周期性地微小凹槽结构，尤其对于体积较小的金刚石刀具(毫米以及亚毫米量级)，且这些加工方法一般加工效率都比较低，很难实现大规模地工业生产。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本发明的目的在于提供一种基于飞秒激光制备技术的金刚石刀具加工方法，设计一整套的加工系统，解决传统方法在微小金刚石刀具刃口制备周期性微米级齿轮的难题。

本发明的技术解决方案：

毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统，包括以下步骤：

1)选取未加工刃口的毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具，彻底清洁；

2)将清洁后环形金刚石刀具固定于圆柱形支撑棒上；

3)将圆柱形支撑棒的一端通过夹具固定在具有旋转轴的三维平移台上；

4)通过快门控制激光通断以及在平行于圆柱形支撑棒中心轴的方向上移动三维平移台，使环形金刚石刀具刃口顶端通过飞秒激光焦点，然后控制旋转轴使环形金刚石刀具旋转2-5度，再反方向移动三维平移台，仍然使环形金刚石刀具刃口顶端通过飞秒激光焦点；

所述飞秒激光焦点采用脉冲重复频率为100到1k赫兹、脉冲宽度为20fs-100ps、波长为325到800纳米、功率为0.1到2毫瓦的超短脉冲激光，经数值孔径值为0.3至0.9的物镜聚焦；

5)重复步骤4，直至在环形金刚石刀具的刃口上得到周期性的微小凹槽结构，微小凹槽尺寸为：宽度：4微米，深度3微米。

上述飞秒激光焦点选用脉冲宽度为50fs、的超短脉冲激光，经数值孔径值为0.5的物镜聚焦。

金刚石刀具每次旋转的角度为3度。

一种毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法，其特殊之处在于：

1)选取多个未加工刃口的毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具，彻底清洁；

2)将清洁后环形金刚石刀具并排固定于圆柱形支撑棒上；

3)将圆柱形支撑棒的一端通过夹具固定在具有旋转轴的三维平移台上；

4)通过快门控制激光通断以及在平行于圆柱形支撑棒中心轴的方向上移动三维平移台，使多个环形金刚石刀具刃口顶端依次通过飞秒激光焦点，然后控制旋转轴使环形金刚石刀具旋转2-5°，再反方向移动三维平移台，仍然使多个环形金刚石刀具刃口顶端依次通过飞秒激光焦点；

所述飞秒激光焦点采用脉冲重复频率为100到1k赫兹、脉冲宽度为20fs-100ps、波长为325到800纳米、功率为0.1到2毫瓦的超短脉冲激光，经数值孔径值为0.3至0.9的物镜聚焦；

5)重复步骤4，直至在多个环形金刚石刀具的刃口上均得到周期性的微小凹槽结构，微小凹槽尺寸为：宽度：4微米，深度3微米。

上述飞秒激光焦点选用、脉冲宽度为50fs、的超短脉冲激光，经数值孔径值为0.5的物镜聚焦。

金刚石刀具每次旋转的角度为3度。

一种毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工系统，其特殊之处在于：包括驱动部件和飞秒激光直写部件；