[发明专利]多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品

权利要求书

1.一种多晶黑硅制绒处理液，其特征在于，其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐，其中所述氢氟酸溶液与过氧化氢溶液的体积比为1～25:5～40，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％，所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种，所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L～10⁵μmol/L。

2.如权利要求1所述的多晶黑硅制绒处理液，其特征在于，所述多晶黑硅制绒处理液中还包括添加剂，所述添加剂与氢氟酸溶液的体积比为1～30:1～25，所述添加剂的质量分数为60％～98％，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种。

3.一种应用权利要求1所述的多晶黑硅制绒处理液进行多晶硅片制绒的方法，其包括如下步骤：

a)将多晶硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理，所述氢氟酸硝酸制绒液为氢氟酸溶液、硝酸溶液和水以1～5：5～10：5～15的体积比混合得到，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量浓度为40％～50％，所述硝酸溶液中硝酸的质量浓度为50％～70％，所述制绒处理的时间为0.5分钟～3分钟，所述制绒处理的温度为5℃～15℃；

b)配置多晶黑硅制绒处理液，将经过制绒处理的硅片置于多晶黑硅制绒处理液中进行黑硅处理，以在硅片的表面形成均匀的多孔结构；

c)用酸液去除经过黑硅处理的硅片表面残留的金属及金属离子。

4.如权利要求3所述的制绒方法，其特征在于，步骤b)中黑硅处理的时间为20秒～5分钟，黑硅处理的温度为10℃～45℃。

5.如权利要求3所述的制绒方法，其特征在于，步骤c)中所述酸液为盐酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸、柠檬酸、羧酸、磺酸、亚磺酸、硫羧酸、氟锑酸、氟锑磺酸中的至少一种。

6.如权利要求3所述的制绒方法，其特征在于，在步骤c)之后还包括：步骤d)用碱液修饰硅片表面的多孔结构，所述碱液为氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、氨水和四甲基氢氧化铵中的至少一种。

7.如权利要求3所述的制绒方法，其特征在于，所述a)步骤之前，还包括预处理步骤a’)：将多晶硅片置于预处理溶液中进行预处理，所述预处理液包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐，其中，所述氢氟酸溶液和过氧化氢溶液的体积比为1～10:10～40，所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L～10⁵μmol/L，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％，所述预处理的时间为20秒～5分钟，预处理的温度为10℃～45℃。

8.如权利要求7所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤a’)的预处理液中还包括添加剂，所述添加剂与氢氟酸溶液的体积比为1～20:1～10，所述添加剂的质量分数为60％～98％，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种。

9.如权利要求7所述的制绒方法，其特征在于，所述步骤a’)的预处理液中，所述金属盐为金、银、铜、铁、镍、锡盐中的至少一种。

10.一种多晶黑硅制绒品，其特征在于，该多晶黑硅制绒品为将硅片采用如权利要求3～9任一项制绒方法进行黑硅制绒处理得到。