[发明专利]多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品在审
申请号: | 201510405297.4 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN105154982A | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 叶继春;高平奇;廖明墩;应智琴;韩灿 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/14;H01L31/18 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 郭晓华 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 黑硅制绒 处理 应用 进行 硅片 方法 以及 黑硅制绒品 | ||
1.一种多晶黑硅制绒处理液,其特征在于,其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐,其中所述氢氟酸溶液与过氧化氢溶液的体积比为1~25:5~40,所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40%~50%,所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20%~55%,所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种,所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L~105μmol/L。
2.如权利要求1所述的多晶黑硅制绒处理液,其特征在于,所述多晶黑硅制绒处理液中还包括添加剂,所述添加剂与氢氟酸溶液的体积比为1~30:1~25,所述添加剂的质量分数为60%~98%,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种。
3.一种应用权利要求1所述的多晶黑硅制绒处理液进行多晶硅片制绒的方法,其包括如下步骤:
a)将多晶硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理,所述氢氟酸硝酸制绒液为氢氟酸溶液、硝酸溶液和水以1~5:5~10:5~15的体积比混合得到,所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量浓度为40%~50%,所述硝酸溶液中硝酸的质量浓度为50%~70%,所述制绒处理的时间为0.5分钟~3分钟,所述制绒处理的温度为5℃~15℃;
b)配置多晶黑硅制绒处理液,将经过制绒处理的硅片置于多晶黑硅制绒处理液中进行黑硅处理,以在硅片的表面形成均匀的多孔结构;
c)用酸液去除经过黑硅处理的硅片表面残留的金属及金属离子。
4.如权利要求3所述的制绒方法,其特征在于,步骤b)中黑硅处理的时间为20秒~5分钟,黑硅处理的温度为10℃~45℃。
5.如权利要求3所述的制绒方法,其特征在于,步骤c)中所述酸液为盐酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、氢氟酸、柠檬酸、羧酸、磺酸、亚磺酸、硫羧酸、氟锑酸、氟锑磺酸中的至少一种。
6.如权利要求3所述的制绒方法,其特征在于,在步骤c)之后还包括:步骤d)用碱液修饰硅片表面的多孔结构,所述碱液为氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、氨水和四甲基氢氧化铵中的至少一种。
7.如权利要求3所述的制绒方法,其特征在于,所述a)步骤之前,还包括预处理步骤a’):将多晶硅片置于预处理溶液中进行预处理,所述预处理液包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐,其中,所述氢氟酸溶液和过氧化氢溶液的体积比为1~10:10~40,所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L~105μmol/L,所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40%~50%,所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20%~55%,所述预处理的时间为20秒~5分钟,预处理的温度为10℃~45℃。
8.如权利要求7所述的制绒方法,其特征在于,所述步骤a’)的预处理液中还包括添加剂,所述添加剂与氢氟酸溶液的体积比为1~20:1~10,所述添加剂的质量分数为60%~98%,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种。
9.如权利要求7所述的制绒方法,其特征在于,所述步骤a’)的预处理液中,所述金属盐为金、银、铜、铁、镍、锡盐中的至少一种。
10.一种多晶黑硅制绒品,其特征在于,该多晶黑硅制绒品为将硅片采用如权利要求3~9任一项制绒方法进行黑硅制绒处理得到。
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