[发明专利]一种光阻汲取装置

权利要求书

1.一种光阻汲取装置，其特征在于，包括光阻瓶(10)、设于所述光阻瓶(10)瓶口的密封盖(11)以及穿过所述密封盖(11)插设于所述光阻瓶(10)内的进气管(12)和光阻汲取管(13)，所述光阻瓶(10)内还设有用于搅拌光阻的搅拌组件(20)。

2.根据权利要求1所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述搅拌组件(20)包括转动轴和倾斜连接于所述转动轴的若干叶片(21)，所述搅拌组件(20)转动将所述光阻瓶(10)内的光阻自瓶口朝瓶底推动。

3.根据权利要求2所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述转动轴的长度方向上间隔设有多个用于连接所述叶片(21)的连接部(22)，所述连接部(22)可在外力作用下相对于所述转动轴上下翻折。

4.根据权利要求3所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述连接部(22)为软胶。

5.根据权利要求2-4任一所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述转动轴为所述光阻汲取管(13)。

6.根据权利要求2-4任一所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述转动轴为套设于所述光阻汲取管(13)外的套管(23)，所述套管(23)内壁与所述光阻汲取管(13)外壁之间还设有密封件(30)。

7.根据权利要求2-4任一所述的光阻汲取装置，其特征在于，所述转动轴为单独设置的搅动棒(24)。