[发明专利]多自由度气浮平台稳压装置及稳压方法

权利要求书

1.多自由度气浮平台稳压装置，其特征在于，它包括气浮轴，气浮轴包括气浮轴承外套(1)和气浮轴承内套(2)，气浮轴承内套(2)安装在气浮轴承外套(1)中空的气腔里，且气浮轴承内套(2)沿气浮轴承外套(1)内侧壁作垂直方向运动；气浮轴承内套(2)的上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套(1)的内侧壁上安装有多个喷嘴(3)；气浮轴承外套(1)的内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器(12)；且喷嘴(3)和压力传感器(12)位于气浮轴承内套(2)下端与气浮轴承外套(1)下端之间；

该稳压装置还包括气瓶(5)、一级减压阀(6)、二级减压阀(7)、比例电磁阀(8)、三级减压阀(9)、开关(10)和基准气腔(11)，气瓶(5)的气体输出端连接一级减压阀(6)的气体输入端，一级减压阀(6)的气体输出端连接二级减压阀(7)的气体输入端，二级减压阀(7)的气体输出端同时连接比例电磁阀(8)的气体输入端和三级减压阀(9)的气体输入端，比例电磁阀(8)的气体输出端同时连接多个喷嘴(3)，三级减压阀(9)的气体输出端同时连接基准气腔(11)的第一气体输入端和第二气体输入端，开关(10)串联在三级减压阀(9)和基准气腔(11)的第二气体输入端之间。

2.根据权利要求1所述的多自由度气浮平台稳压装置，其特征在于，气浮轴承外套(1)中空的气腔里填充有高压气体，在气浮轴承内套(2)沿垂直方向运动的过程中，气腔内的压强保持恒定。

3.根据权利要求1所述的多自由度气浮平台稳压装置，其特征在于，气浮轴承外套(1)内部沿垂直方向设置有测量气浮轴承内套(2)位移的光栅尺(4)。

4.基于权利要求1所述多自由度气浮平台稳压装置的稳压方法，其特征在于，该稳压方法的具体过程为：

步骤1、打开气瓶(5)，打开开关(10)，打开比例电磁阀(8)；

步骤2、压力传感器(12)检测气浮轴承外套(1)气腔内的压强，获得压强返回值；

步骤3、判断压强返回值与设定值之差的绝对值是否小于0.02bar，如果是则执行步骤4，如果否则返回执行步骤2；

步骤4、关闭开关(10)；

步骤5、判断压强返回值与设定值是否相等，如果否则执行步骤6，如果是则气浮平台稳压完成；

步骤6、调节比例电磁阀(8)，然后返回步骤5。