[发明专利]贴合治具

权利要求书

1.一种贴合治具，用于贴合第一基板和第二基板；该贴合治具包括腔体及设置于腔体内的承载机构；该腔体上开设有开口；该开口用于连通腔体内外以形成空气流通通道；该承载机构包括底座及承载台；该底座开设有空腔；该空腔用于连通腔体和承载台以形成空气流通通道；该承载台放置于底座上，用于承载第一基板；其特征在于：该承载台开设有第一导气通道；该第一导气通道用于提供承载台和腔体之间的导气通路；该第一导气通道贯穿该承载台；该承载台还包括两个控制结构；该两个控制结构分别设置于该第一导气通道两端；该控制结构用于建立或切断第一导气通道与腔体之间的连接；当利用抽气装置通过开口对腔体内进行抽真空时，该两个控制结构同步控制该第一导气通道与腔体相连通，该承载台内的空气通过第一导气通道进入腔体内。

2.如权利要求1所述的贴合治具，其特征在于：该控制结构可在第一状态和第二状态之间进行切换；当处于第一状态时，该控制结构控制第一导气通道与腔体之间形成导气通路；当处于第二状态时，该控制结构切断第一导气通道与腔体之间的导气通路。

3.如权利要求2所述的贴合治具，其特征在于：第一导气通道贯穿承载台；当利用抽气装置通过开口对腔体内进行抽真空时，靠近开口的该控制结构切换至第一状态，且远离开口的该控制结构维持在第二状态。

4.如权利要求1所述的贴合治具，其特征在于：该承载台还开设有若干第二导气通道；该第一导气通道分别与第二导气通道和腔体相连通；该若干第二导气通道相互平行设置，且与底座相连通；该第二导气通道用于提供承载台和底座之间的导气通路；当第一基板放置于承载台上，该控制结构切断第一导气通道和腔体之间的导气通路，利用抽气装置通过空腔和第二导气通道对承载台内进行抽真空，以使得第一基板固定于承载台上。

5.如权利要求4所述的贴合治具，其特征在于：该承载机构还包括垫材；该垫材设置于第一基板和承载台之间；该垫材开设有若干个穿孔；该穿孔与第二导气通道对应，且与第二导气通道相连通。

6.如权利要求1所述的贴合治具，其特征在于：该贴合治具进一步包括机架；该机架包括两个间隔设置的支撑部；该底座可移动地设置于两个支撑部之间；该支撑部用于承载第二基板；该承载台上的第一基板与放置于支撑部上的第二基板正对且在按压机构作用下第一基板和第二基板相互贴合。

7.一种贴合治具，用于贴合第一基板和第二基板；该贴合治具包括腔体及设置于腔体内的承载机构；该腔体上开设有开口；该开口用于连通腔体内外以形成空气流通通道；该承载机构包括底座及承载台；该底座开设有空腔；该空腔用于连通腔体和承载台以形成空气流通通道；该承载台放置于底座上，用于承载第一基板；其特征在于：该承载台开设有第一导气通道；该第一导气通道用于提供承载台和腔体之间的导气通路；该承载台还包括挡板；该挡板可移动地覆盖第一导气通道；当利用抽气装置通过开口对腔体内进行抽真空时，该承载台内的气压大于腔体内的气压时，该挡板移动使得该第一导气通道与腔体相连通，使得该承载台内的空气通过第一导气通道进入腔体内；该承载台还开设有若干第二导气通道；该第一导气通道分别与第二导气通道和腔体相连通；该若干第二导气通道相互平行设置，且与底座相连通；该第二导气通道用于提供承载台和底座之间的导气通路；当第一基板放置于承载台上，该挡板紧贴第一导气通道切断第一导气通道和腔体之间的导气通路，利用抽气装置通过空腔和第二导气通道对承载台内进行抽真空，以使得第一基板固定于承载台上。

8.如权利要求7所述的贴合治具，其特征在于：该承载机构还包括垫材；该垫材设置于第一基板和承载台之间；该垫材开设有若干个穿孔；该穿孔与第二导气通道对应，且与第二导气通道相连通。

9.如权利要求7所述的贴合治具，其特征在于：该贴合治具进一步包括机架；该机架包括两个间隔设置的支撑部；该底座可移动地设置于两个支撑部之间；该支撑部用于承载第二基板；该承载台上的第一基板与放置于支撑部上的第二基板正对且在按压机构作用下第一基板和第二基板相互贴合。