[发明专利]平版印刷设备中的光学系统

权利要求书

1.光学系统，所述光学系统具有单一放大率，在像空间和物空间是远心的，并且用于中等清晰度的平版印刷，包括：

-“Dyson-Winne”型的结构，所述结构具有凹球面镜和光学模块，所述凹球面镜用于使物体和像穿过其曲率中心，并且所述光学模块配置在所述凹球面镜的曲率中心附近，

在所述凹球面镜与所述光学模块之间包括：

-由至少两个透镜组成的组，其中，所述至少两个透镜位于所述光学模块的附近，并具有区域校正功能以及将光速约束在减小的体积中的功能，

-由至少两个其他透镜组成的组，其中，所述至少两个其他透镜位于所述凹球面镜的正向附近，并具有对孔径和色差进行校正的主要功能，

所述光学系统的特征在于，整个像区域大于所述凹球面镜的直径的65％。

2.根据前述权利要求所述的光学系统，其特征在于，所述凹球面镜、所述光学模块和不同透镜都分布在基本圆柱形的封罩中。

3.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统，其特征在于，待被平版印刷的掩模和板平行面移动，其特征还在于，所述光学模块包括反射表面，其中所述反射表面相对于凹球面镜的轴线呈45°延伸以收集来自所述掩模的光并向所述板发射像光束。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统，其特征在于，所述透镜中的至少一个是非球形的。

5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统，其中，所述凹球面镜是通过对所述透镜的背面进行反射处理而形成的Mangin镜型。