[发明专利]OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201510412058.1 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106350767B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 李柏德;张耀宇;严达祥;林进志 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56;G01N21/88;G01R19/145 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 基板蒸镀 结构 以及 缺陷 检测 方法 | ||
【说明书】：
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